太阳电池片烧结炉的设计及其关键性能探讨.doc

太阳电池片烧结炉的设计及其关键性能探讨 出处:43所 作者: 李争 任志平 编辑:xzj 一 前言 进入21世纪以来，光伏发电作为理想的可再生能源发电技术，得到了迅猛发展。在市场的拉动下，到2006年，我国已形成1200MW的生产能力。在太阳电 池片的整个生产工艺流程中，扩散、镀膜和烧结三道工序足最主要的，其中烧结是使晶体硅基片真正具有光电转换功能的至关重要的一步。因此，烧结设备的性能好 坏直接影响着电池片的质量。 太阳电池片目前采用只需一次烧结的共烧工艺，同时形成上下电极的欧姆接触。银浆，银铝浆、铝浆印刷过的硅片，经过烘干使有机溶剂完全挥发，膜层收缩成为固 状物紧密粘附在硅片上，这时可视为金属电极材料层和硅片接触在一起。当电极金属材料和半导体单晶硅加热达到共晶温度时，单晶硅原子以一定的比例溶入到熔融 的合金电极材料中。单晶硅原子溶入到电极金属中的整个过程是相当快的， —般只需几秒钟时间。溶入的单晶硅原子数目取决于合金温度和电极材料的体积，烧结合金温度越高，电极金属材料体积越大，则溶入的硅原子数目也越多，这时的 状态被称为晶体电极金属的合金系统。如果此时温度降低，系统开始冷却形成再结晶层，这时原先溶入到电极金属材料中的硅原子重新以固态形式结晶出来，也就是 在金属和晶体接触界面上生长出一层外延层。如果外延层内含有足够量的与原先晶体材料导电类型相同的杂质成份，这就获得了用合金法工艺形成欧姆接触；如果在 结晶层内含有足够量的与原先晶体材料导电类型异型的杂质成份，这就获得了用合金法工艺形成P-N结。 典型的太阳电池片的烧结曲线如图1所示。整个时间约120s，分为烘干、预烧、烧结和降温四个阶段。其中烧结段从500℃迅速升温至850℃左右，然后急 剧降温到500℃以下，这段时间约10s，而在850℃C仅停留2-3s。这种陡升陡降的工艺曲线，要求烧结设备在加热元件、炉膛结构，气氛布置、控制原 理、传动系统和冷却方式等方面必须要有专门的设计。 二 加热元件的选择和固定方式 一般网带式烧结炉采用电热丝作为加热元件，主要通过热传导对工件进行加热，无法实现急速升温。只有辐射或微波能够迅速加热物体，而辐射加热具有使用经济、 安全可靠、更换方便等优点。所以目前太阳电池片烧结炉基本都采用红外石英灯管作为主要加热元件。它的设计需注意以下三个问题： 1 红外辐射吸收光谱 当红外辐射能量被工件吸收时，该物质所特有的吸收光谱需与发射光谱相匹配，才能在最短时间内最大效率地吸收辐射能。因此，在烧结的不同阶段，所选用的红外 石英灯管也是不同的。在烘干段，要让有机溶剂和水分迅速挥发，采用中波管辅助热风加热是正确的;在预烧段，要让基片获得充分均匀的预热，中波管良好的红外 辐射、均衡的吸收及穿透能力，正好符合要求：在烧结段，必须在极短时间内使基片达到共晶温度，只有短波管能做到这一点。 2 加热管的结构形式 为实现烧结段的温度尖峰，需在很短的炉膛空间内布置足够的加热功率。目前，有短波孪管和短波单管两种结构可以选择，其线性功率密度均达到60kW／m2。 虽然短波挛管拥有更高的单根功率(相当于两根单管并联)，但由于其制造丁艺复杂，对石英玻璃管的质量要求更高，制造成本约是单管的2.5倍。因此，在实际 使用中，大多采用单管。 3 加热管的固定方式 烧结段的温度峰值在850℃左右，此时灯管的表面温度将达到1100℃，接近石英管的使用极限，梢微过热产生气孔就会立刻烧毁灯管。而在灯管的引出导线部 位，由于焊接导线的金属片和石英坡璃密封在一起，二者热膨胀系数不一致，如果此处温度过高就会产生应力裂纹，造成灯管漏气。因此灯管在炉膛中的安装固定方 式十分重要。图1为红外灯管在炉膛中的一种固定方式。这种固定方式要求灯管的冷端距离炉壁至少80mm以上，保证引出导线部位的温度不会过高，而且炉壁上 安装孔的直径要比灯管大2～3mm，通过两侧的固定夹具将灯管悬空夹持在炉膛中 三 炉膛结构设计与耐火材料的选择 1 炉膛结构的设计 太阳电池片的烧结工艺决定了相邻两个温区的温度会有300℃以上的落差。虽然辐射加热具有很好的定向性，但是在灯管和基片之间由于炉膛气氛的存在，有一部 分能量会因对流和空气的冷却作用而损失。同时，高温区的热量有向相邻低温区扩散的趋势，这种热扩散会抬高相邻低温区的实际温度，阻碍温度尖峰的形成。因 此，如何减少空气的热损失和相邻温区的热扩散是炉膛结构设计的重点，其纵向截面剖视图如图3所示。 整个炉膛采取大加热腔小通道的结构，大加热腔可以提供足够的热量，减少热震荡，提高炉膛的温度均匀性，小通道可以使每个温区的空间相对独立，减少对流，降 低相邻温区间热扩散干扰。由于硅