透射式光栅光谱仪摄谱性质的研究.pdfVIP

. , o . 第 n 卷 第 2 期 光 学 学 报 V ol 11 N 2 , 工 工 王飞b r 了y 土9 9 1 1 9公1 年 2 月 A C’ 1r A O P T C A S I N O A ua 透射式光栅光谱仪摄谱性质 的研究 李跃林 陈时胜 钱爱娣 王晓方 徐至展 , ( 中国科学院上海光学精 密机械研究所 上悔 2 0 18。。 0) 提 要 本文从 理论和 实验上探讨 了透射光栅的光栅 参数和 实验 几何条件对于光栅 的衍射 效率 、 色散 、 光普 对称性及散 射本底 的影响 , 对于 这些 摄谱性质的 了解 , 将有助于 实验 数据 的分析 . 关 键词 : 透 射光栅光谱 仪 , 软 X 射线光谱 。 一 、 引 言 透射 式光 栅光谱 仪 近年来在 激光 等离 子体 的研 究 中得到 了广 泛应 用 以~ 们 , 一 些 实验室 还 将其应 用 于 X 射 线激光 的研究阁 。 由于 技术条 件 的限制 , 要 将光 栅做到 无缺 陷是 十分 困难 的事 情 , 实 际 使 用 中 随 机 的 偏差 , 也会 对实验 结果造 成不 良影 响 。 所 以 很多 作者都对 这些 问题进 行 了理 论和 实 验 分 析 〔 6~ 们 。 我们 从 1 98 6 年 开始 从事透射 光 栅谱仪 的研制 和使 用浏~ 13J , 也 发现 光栅不 均匀性会 严 重影响到 其摄谱 质量 。 本文 将对在 实验上遇 到 的一 些 间题 , 进 行分 析 , 以 期在将来 的 实验 中 避 免类似 的 间题 。 二 、 透射光 栅简介 图 1 给 出了 目前所 使用 的光栅 的 电子显 微镜扫 描 图 。 这 些光 栅为金 制 无 支 撑 的 , 有 . ??5 5 户 m 和 功2 5 灿 m 两种 针孔规 格 , 光 栅周 期有 0 5 ” -nI 和 1 仲 m 。 针 孔本身 就具 有成像 能力 , 加 上光栅 的色散 就可 以 使我们 得到 空 间分 辨光 谱 , 或 者光谱 分辨 的成像 。 针 孔成像 的好 处是 可 以较 为容 易地避免 由掠入 射前置 聚光元 件带来 的像 散山、 , 、 光栅 的色散 关系为 d 吐n o ~ 仍入, 其 中 d 为 光栅 常数 入 。 、 0 分别 为入射 光 波长 、 衍射 级 别 和散射 角 ; 如果 像距 L