EBCCD 等几种常见成像器件的分析及比较.pdfVIP

!##$ 等几种常见成像器件的分析及比较 杨 承 朱大勇 % 电子科技大学光电信息学院 成都 ’(()*+ 摘 要 根 据 ,--. / 0--. 和 10--. 的 结 构 特 点 2 分 析 了 三 种 器 件 的 345 特 性 2 并 在 相 同 目 标 条 件 下 计 算 比 较 了 它 们 的 678 9 研究表明 2 在中等光强下 0--. 的性能优于 ,--. 2 而在极弱的光强下 2 10--. 能取代 ,--. 9 关键词 低能见度 背向照明 电子轰击 图像增强器 :;=?@?;A#BCDE@?B;BFGHIHE=#BCCB;JCKHGH;?BE? LMNO -PQNO RPS.MTUNO % VWXXYZYW[\]ŴWYXY_̂‘a_bc[W‘dêaWc 2 fcagY‘hâiW[jXY_̂‘Wca_ k_aYc_YeclmY_]cWXWZiW[V]ace 2 V]YcZln opqqrs2 V]ace + :t?uEvu 0MwQxUNyPQwyzS{ySzM|}Qz~Uz!MN{QwU~,--. 2 0--. MNx10--. 2 yPQz345}Qz~Uz!MN{Qww MNM|TwQxMNxyPQz678w{M|{S|MyQx # ,ywwPU$NyPMySNxQz!UxQzMyQ|T|U$|OPy{UNxyUNw 2 yPQ}Qz~Uz!MN{QU~ 0--.w%QyyQzyPMNyPMyU~,--. # 3UzQUQz 2 SNxQzQ’yzQ!Q|U$ |OPy{UNxyUNw 2 ,--.{MN%QzQ}|M{Qx%T 10--. # (H)BEA? *U$|OPy 0M{+|S!NMyUN 1|Q{yzUN%U!%MzxQx ,!MOQNyQNw~Qz - 引 言 很长一段时间里 2 在监视 / 显微及光谱学等低能见 度 下 2 通 常 采 用 传 统 的 图 像 增 强 器 --. % ,--. + 传 感 器 9 但这类系统由于受图像增强器增益机制的固有影 响 2 其信噪比 / 对比度及分辨率有多下降 9 而随后出现 的背 向 照 明 / 薄 型 --. % 0--. + 传 感 器 和 电 子 轰 击 --. % 10--. + 传 感 器 在 中 等 光 强 条 件 下 能 提 供 比 ,--. 传感器更优越的性能 2 特别是 10--. 传感器能 提供近乎零噪声增益和优秀的调制传递函数 % 345 +9 . J##$ / ##$ 和 !##$ 的结构特性 图像 增 强 器 --. % ,--. + 传 感 器 / 大 多 数 高 性 能 ,--. 系统都是利用一根熔合的纤维光锥将 图 像 增 强 器的输出成像在 --. 阵列上 9 每一次成像都要经历光 到电 2 再到光 2 最后变成 --. 中电子的过程 2 数次的转 换使得图 化 9 微通道板 % 3-0 + 的增益过程给 图像引入了噪声 2 降低了信噪比和 345 9 莫尔图 / 元器 件自身的缺陷及光纤阵列的不连续性在成像途径中不 断积累 2 最终形成 --. 的固定背景噪声 9 此外 2 光学界 面及纤维光学元件中的散射使传感器的 345 进一步 下降 9 这些直接导致产生 ,--. 传感器的特性 / 成像质 量较差 9 背向 照 明 --. % 0--. + 传 感 器 / 减 薄 的 / 背 照 明 --. % 0--. + 在 背 向 进 行 照 明 和 电 荷 收 集 2 这 就 远 离 对光有吸收作用的多晶硅电 极 2 克 服 了 传 统 前 向 照 明 --. 的性能极限 9 通过这种背向照明 --. 的方法 2 传 感器可以获得超过 1(2 的量子效率 9 除此之外 2 0--. 在紫外波段及柔和 3 射线能量区域也能成像 9 如果给 背 向 照 明 --. 镀 上 适 当 的 紫 外 防 反 涂 层 2 它 能 在 4(( N! 波长处获得约 )(2 的量子效率 9 电子轰击 --. % 10--. + 传 感 器 / 10--. 成 像 器 消除了传统 ,--. 中复杂的图像传输链 2 而将 --. 直 接集成于成像管的真空中 9 10--. 传感器用背向照明 --. 做阳极 2 其光电阴极发射的光电子直接临界聚焦 在对电子敏感的 --. 背面上 2 入射光电子能被硅耗尽 生 成 电 子 空 穴 对 2 此 时 变 产 生 了 电 子 轰 击 半 导 体 % 106 + 增益 9 此过程中的噪声明显低于微通道板产生 第 4 卷第 5 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 4(() 年 5 月 电子增益过程 ! 理想情况下 它能够几乎无噪声地提供 高于 #$$$ 的电子增益 这足以克服系统的噪声源