“微电子学概论”--Chap08.pptVIP

微机电系统;引 言;;;;MEMS技术;MEMS — 微小型、智能、集成、高可靠;ADI公司生产的微加速度计MEMS芯片;MEMS在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景 微惯性传感器及微型惯性测量组合能应用于制导、卫星控制、汽车自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统(ABS)、稳定控制和玩具 微流量系统和微分析仪可用于微推进、伤员救护 MEMS系统还可以用于医疗、高密度存储和显示、光谱分析、信息采集等等 已经制造出尖端直径为5?m的可以夹起一个红细胞的微型镊子，可以在磁场中飞行的象蝴蝶大小的飞机等;MEMS技术的应用;MEMS技术的应用;MEMS技术的应用;MEMS技术的历史;MEMS技术;研究领域;研究领域;MEMS的分类;MEMS的分类;MEMS的分类;MEMS制造工艺;大机器加工小机器，小机器加工微机器;MEMS制造工艺;LIGA工艺;硅MEMS工艺;体硅工艺;表面牺牲层工艺;几种重要的MEMS器件;MEMS器件;加速度计 (理论基础牛顿第二定律） 压阻式加速度计 电容式加速度计 压电式加速度计;惯性器件;电容式微加速度计;光学MEMS器件;传统的光传感器;发光器件 场发射（FEDs） 未来的显示设备(FPD);新器件——组件;各种光学元器件 透镜、波带片、滤波器、光栅及各种致动机构;微光学系统;微型显示阵列（光调制器）;DMD——应用;DMD——应用;光开关;  微机械2?2光开关 微机械2 ?2光开关;光纤固定结构;光栅及光栅光谱仪;;新器件——组件;弧形梳齿 原理 应用;静电;美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75～125s，推力0.5mN，功率 5W，效率≥50%，质量为几克，大小为1cm2。;美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机(固体升华方式)。微推进器由推进剂出贮箱、微阀、微过滤器、微型喷口等组成，微型喷口利用MEMS技术中的体硅工艺制作。其性能目标为：比冲50～75s，推力0.5mN，功率 2W/mN，质量为几克，大小为1cm2。;美国TRW公司、航空航天公司和加州理工学院（CIT）组成的研究小组??出了一个“数字推进概念”方案。硅片上有集成电路来开启和控制每个微推进器。整个推进系统还可充当卫星的散热器，以进一步减小卫星的有效载荷。制作方法可以用目前已成熟的MEMS及LIGA技术。图为他们于99年初发表了3×5阵列的电阻电热式微推进器样机。;新概念的微型双组元火箭发动机结构图;结 束 语;MEMS技术及其产品的增长速度非常之高，并且目前正处在加速发展时期;MEMS技术; 一般意义上的系统集成芯片 广义上的系统集成芯片;作 业