XPS课件讲述.pptx

高大强 X-射线光电子能谱X-Ray Photoelectron Spectroscopy X射线光电子能谱能解决什么问题？ X射线光电子能谱图怎样识别？ X射线光电子能谱实验要注意那些问题？ 课程目的 主要内容 X射线光电子能谱物理基础 X射线光电子能谱仪构成 谱图诠释与定性分析方法 定量分析与深度剖析方法 X射线光电子能谱物理基础 一、X射线光电子能谱及其特性 1、X射线光电子能谱，简称XPS，别称ESCA。 2、X射线光电子能谱学是最近四十年来发展起来的一门综合性学 科。它与多种学科相互交叉，融合了物理学，化学，材料学，真空电子学，以及计算机技术等多学科领域。 3、现代X射线光电子能谱学已经发展为一门独立的，完整的学科。 4、它是研究原子，分子和固体材料的有力工具 1、X射线光电子能谱(XPS) □ 所用激发源(探针)是单色X射线，探测从表面出射的光电子的能量分布。由于X射线的能量较高，所以得到的主要是原子内壳层轨道上电离出来的电子。XPS的物理基础：光电效应。 □ 瑞典Uppsala大学物理研究所Kai Siegbahn(凯·西格巴恩)教授及其小组在二十世纪五十和六十年代对XPS的实验设备进行了几项重要的改进并逐步发展完善了这种实验技术，首先发现内壳层电子结合能位移现象，并将它成功应用于化学问题的研究中。X射线光电子能谱不仅能测定表面的元素组成，而且还能给出各元素的化学状态和电子态信息。 □ Kai Siegbahn由于其在高分辨光电子能谱方面的开创性工作和杰出贡献荣获了1981年的诺贝尔物理奖. 2、电子能谱的特性 □ 除氢和氦以外元素周期表中所有元素都有分立特征谱峰。 □ 近邻元素的谱线分隔较远，无系统干扰。 □ 可观测的化学位移。与氧化态和分子结构相关，与原子电荷相关，与有机分子中的官能团有关。 □ 可定量的技术。测定元素的相对浓度，测定同一元素不同氧化态的相对浓度。 □表面灵敏技术。采样深度约1~10nm，信号来自最表面的十数个原子单层。 □ 分析速度快。可多元素同时测定。 □ 样品的广泛适用性。固体样品用量小，不需要进行样品前处理。 XPS可提供的信息包括: □ 成分信息 □ 表面存在哪些元素? □ 定量信息 □ 每种元素有多少? □ 化学态信息 □ 这些元素处于什么化学态？原子相互之间是如何连接的? □分布状态信息 □样品是均匀的吗? 元素的空间分布情形？ □深度信息 □表面下是什么?元素随深度的变化是否均匀等？ □ 由于电子能谱中包含着样品有关表面电子结构的重要信息，用它可直接研究表面及体相的元素组成、电子组态和分子结构。 □ 电子能谱可进行表面元素的定性和定量分析，元素组成的选区和微区分析，非均相样品中元素组成的表面分布分析和深度剖析，原子和分子的价带结构分析，在某些情况下还可对元素的化学状态、分子结构等进行研究。 □ 电子能谱的表面灵敏特性，以及非结构破坏性测试能力和可获得化学态信息的能力，是一种用途广泛的现代分析实验技术和表面分析的有力工具。广泛应用于科学研究和工程技术的诸多领域中。 3、应用领域 1、表面灵敏性 □ 一般来讲，分析方法的表面灵敏度依赖于所检测的辐射。表面分析技术以电子能谱为中心，作为信息载体的特征电子从被X射线照射的样品中发射出，然后到达能量分析器和检测器进行分析测量。 □ 在X射线光电子能谱中，尽管轰击表面的X射线光子可透入固体很深(~1mm)，但由于电子在固体中的非弹性散射截面很大，只有小部分电子保持原有特征能量而逸出表面。可被检测的无能量损失的出射电子仅来自于表面的1~10 nm。在固体较深处产生的电子也可能逸出，但在其逸出的路径中会与其它原子碰撞而损失能量，因而它们对分析是无用的。电子能谱的表面灵敏性是在固体中输运而没有被散射的短距电子的结果。 二、表面灵敏性与表面分析 2、光电离几率 □定义 光电离几率（光电离截面）：一定能量的光子在与原子作用时，从某个能级激发出一个电子的几率； □影响因素 光电离几率与电子壳层平均半径，入射光子能量，原子序数有关； 在入射光子能量一定的前提下，同一原子中半径越小的壳层，光电离几率越大； 电子的结合能与入射光子的能量越接近，光电离几率越大； 光电离几率越大，说明该能级上的电子越容易被光激发，与同原子其他壳层上的电子相比，他的光电子峰的强度越大。 3、XPS的信息深度 样品的探测深度通常用电子的逃逸深度度量。 电子逃逸深度 (Ek):逃出电子非弹性散射的平均自由程； 电子逃逸深度： 金属0.5~3 nm; 氧化物2~4 nm ； 有机和高分子4~10 nm ； 通常：取样深度为d=3 XPS无法检测H、He的原因： H、He的光致电离界面小，信号太弱。