毛细微模塑和转移微模塑制备PVPRu(dpphen)3Cl2微图形.pdfVIP

第 22 卷第 6 期 高分子材料科学与工程 Vo1. 22.N川 2006 年 11 月 POLYMER MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING Nov. 2006 毛细微模塑和转移微模塑制备 PVP/ Ru(dpphen)3Cb 微图形 吴福贵，杨海洋，王 政，何平笙 〈中国科学技术大学高分子科学与工程罩，置酷合肥 230026) 摘要 2 用毛匍橄模童渣和转移徽模塑蜂命).)制品 T钉有机蔷合物掺串的 PVP 微牵址和点阵撇图形.电 镜照片显示，所形成的微圆形很好地再凰 T模板的原拢，而吏尤显微镜照片在明，钉有机蔷合物在 PVP 中企散均句.提光光滑#析且现.~散在 PVP 中钉有机肇告物的且射光谱有蓝移现阜. 关键词，毛细微模塑 z转移微模塑，聚乙烯毗略镜圈，钉有机警合物 中固纷提号，TQ320. 66+ 1 文献标识码 .A 钉有机整合物具有特殊的光、电性能，是一 种新型功能材料，在光学传感器和非线性光学 材料等方面有广阔的应用前景[卜。.钉有机整 合物应用的关键问题之一是把它们制备成均匀 性好的器件。微模塑是软刻蚀技术的一个分 支，包括毛细微模塑 (MIMIC) 、转移微模塑 (pTM)、溶剂辅助微模塑 (SAMIM)和热模塑 (pM)等[川1. 微模塑工艺简单，效率高，适合 用于制造各种微图形和微器件[81. 聚乙烯毗咯 烧酣(PVP)是一种优良的成膜材料，吸附性强， 无毒无害 .PVP 薄膜具有优良的粘接性.我们 用毛细微模塑法和转移微模塑法分别制备了含 有钉有机篮合物的 PVP 微条纹和点阵徽图形. 所制得的样品以显微镜、ESEM、荧光显微镜和 荧光分光光度计等手段进行了研究，并对实验 结果进行了讨论。 1 实验部分 1. 1 试剂 聚二甲基硅氧统(硅橡胶. PDMS) , Syl- gard 184 , Dow Corning 公司产品，分 A(硅橡 胶)、 B(固化剂)两组分s 聚乙烯毗咯烧嗣 (PVP) ，主海化学试剂公司产晶，粘均分子量 收稿目期 12005-09-19 ;修订日期 12006-05-18 文章编号， 1000-7555(2006)口 6-0188-04 360 ， 000，钉有机整合物 (Ru (dpphen) ,Cl. dp- phen = 4. 7-diphenyl-l. 10-phenanthroline) , 由本实验室自行合成。 1. 2 微图形的硅片模板 本实验使用微条纹和微点阵两种微图形硅 片模板，尺寸分别为宽 15μm.间隔 31μm 的条 纹以及 8μmX8μm 的方形小格，间隔 7μm。前 者系我校国家同步辐射实验室光刻工作站光刻 加工，后者为清华大学微电子研究所刻制。玻璃 基片采用光学显微镜用的盖玻片， 1.3 仪器 带有图像采集和计算机显示的光学显微镜 GALENjCTV，南京江南光电股份集团产品， 图像采集所用 CCD 为 Panasonic WV0240jG。 荧光显微系统:包括 Olympus IX-70 型倒置显 微镜和 Olympus DP-50 型显微图像系统。扫描 电子显微镜，P)tilips XL30 ESEM.加速电压 10 kV，放大 1000 倍.荧光分光光度计， SHI- MADZU ,RF-5301PC , 1.4 实验方法 (1)玻璃基片的清洗:先用酸洗液浸泡 24 h. 清水漂洗;然后用碱洗液浸泡 8 h. 清水漂 洗，再用去离子水反复清洗，最后沉浸在去离子 基金项目 a国家自然科学基金和高等学枝博士学科点专项科研基金 (20040358018)资助i阜题. 联系人 s杨梅洋，主要从事高舟子禧液流变性质且低维高分子材料结构与性能研究. E-maillyhy@ustc.edu.cn 第 6 期 失稿费等，毛细微锁$固和l铃移徽模11制备 PVP/ Ru(dppl飞cn).Clt It图形 189 水中待用. ( 2)硅橡胶弹性印章的树备 g将硅橡胶(A) 与固化剂(8)以 10:1的比例混合搅拌均匀，抽 真空除去小气泪，挠铸在带有困纹的硅片模极 上 . 70 C 固化 2 h. 冷却后把固化了的硅橡股 块从模板上小心揭下，即成实瞌所用的殊性印 章. (3) PVP/Ru (dpphen )aCl: 乙鄙榕液 z称取 21. 1 mg Ru(dpphenhCJ2 ，溶于 10mL 乙醇中， 再溶入0. 2 g PVp ，搅拌均匀，密闭置于冰箱中 待用 . (4)毛细微模塑法制备 PVP/Ru Cdpphen) ，Cl2 提合物的条纹徽图形:切去弹性 印章上微条纹两端的非图形空白部分.将弹性 印章有图形的一面向下扣在玻璃基片上.施以 一定压力，保证印章表面和玻璃基片接触面贴 合良