基于多项式拟合的S型加减速曲线在芯片键合机工作过程中的应用.pdfVIP

????年 ??月? 机械设计与制造工程? ???．????? 第 ??卷 第 ??期? ???????????????????????????????????????????? ???．?????．??? ???：??．????／?．????．????— ????．????．??．???? 基 于 多项 式 拟 合 的 ?型 加 减 速 曲线? 在 芯 片键 合机 工 作 过 程 中的应 用? 刘? 静 ，何 田? ?无锡派图半导体设备有限公司 ，江苏 无锡 ???????? 摘要 ：为解 决传 统梯 形加 减速 曲线 或者 指数加 减 速 曲线在 运 动 过程 中产 生 冲击及 振 动 的 问题 ，提? 出了一种新 型 的基 于 多项式拟 合 的 ?形加 减速 曲 线 ，该 曲 线 弥补 了传 统加 减 速 曲线 的 不足 ，并 能? 满足 芯片键 合机 高速度 、高精 度 的运动要 求。? 关键词 ：?型加 减 速 曲线 ；多项 式拟合 ；芯 片键 合机? 中图分类号：??????．?? 文献标志码 ：?? 文章编号 ：????— ????????????— ????— ??? 自??世纪末 以来 ，随着科技进步以及 照明产? 机构的驱动下 ，完成竖直 方 向的直线 运动和 绕 ?? 业的发展 ，???封装行业 也不断地进行 着技术革? 轴的旋转运动 ，其运动示意图如图 ?所示。? 新。如今的封装设备 以速度和精度作 为主要 的性? 能指标 ，各 厂家在这 方面 的竞争 愈发激 烈。???? 芯片键合机作为封装过程中不可或缺的设备之一 ，? 在此领域 同样面临着类 似 的问题 ，如何提 高 ???? 芯片键合机的速度 和精度成为该行业厂家必须面? 吸嘴? 对 的重 要 问 题 ? 。调 研 显 示 ，市 场 上 已 经 出 现 了? 固晶周期为 ?????的全 自动 ???芯片键 合机 ，这? 吸片位? 引线框架? 晶圆? 意味着摆臂式芯片键合机的固晶臂的旋转运动频? 图 ? 摆臂式芯 片键合机 固晶臂 的运动 示意图? 率达到了每秒钟 ?～?次 ，其末端的峰值角速度和? 峰 值 加 速 度 分 别 达 到 了 ???．?????／? 和? 如图 ?所示 ，固晶臂在旋转 电机及直线电机的? ?????????／??，而固晶臂末端 的峰值切 向加速度也? 驱动下完成耦合 的直线运动及旋转运动，实现在吸? 达 到 了??????／??，相 当于 ???个 重 力 加 速度?