基于超声辅助的UV-LIGA光栅制备技术研究.pdfVIP

· 电气与 自动化 ·? 成杰 ，等 ·基 于超声辅助的 ???????光栅制备技 术研 究? 基 于超 声 辅助 的 ??????? 光 栅 制备 技 术 研 究? 成杰 ，李寒 松 ，朱荻? ?南京航空航天大学 江苏省精密与微细制造技术重点试验 室 ，江苏 南京 ???????? 摘 要 ：光栅在通信 、光存储及光谱分析领 域具有 广泛 的应用 。对超 声辅 助 ??—????技 术制? 备光栅的可行性进行 了试验研 究。试验 中两次利 用超 声的特 殊效 应 ，实现 不 同的辅 助功 能 。? ??采 用超 声辅助显 影 ，通过 改善光 刻胶 模 沟槽 内的物质传输 ，提 高光刻胶模 结构 的显影效 率? 和显影质量 。??在后烘之后、显影之前 对光刻胶 结构进 行超 声处理 ，通过在 空 气 中对 光刻胶? 模结构进行超声处理 ，有 效降低 ??一?胶模在 电铸过程 中的溶胀 。选取优化 的工 艺参数 ，采用? 侧 向冲 液 电铸 方 式 ，获得 了镍 基 光栅 。? 关键词 ：光栅 ；超声 ；辅 助? 中图分类号 ：?????．?? 文献标志码 ：?? 文章编号 ：?????????????????．????．??? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?????????，??????????? ，??????? ?????，??????????????????????????????????????????????，???????，??????，??????? ????????：??????????????????????????????????????????????????????，??????????????????????????????．???????????，?????????????? ?????????????????????????????????????????????—????????????????．?????????????????????????????? ???????????????????????????????—? ?????????????．?????， ????????????—???????????????????????????????????????????????????? ??? ????????????????????????????? ?? ???，????????????????????????????