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* 薄膜屈曲的力学研究 王永 东北大学真空与流体工程研究中心 导师：李建昌 蔺增 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 参考文献 1.张 敏，纳米薄膜屈曲的国内外研究进展，天津大学仁爱学院，2009 2.肖毅，纳米薄膜屈曲三维形貌技术测量技术研究、天津大学机械工程学院、2006 3.房予铮、纳米尺度薄膜屈曲的实验研究、天津大学机械工程学院，2006 4.M.-W. Moon a, d,*, J.-W. Chung b, K.-R. Lee b, K.H. Oh a, R. Wang c,A.G. Evans，An experimental study of the influence of imperfections on the buckling of compressed thin films，Acta Materialia 50 (2002) 1219–1227 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 屈曲：力学名词(buckling)。结构的一种失效。表现为当结构受到很高、但小于他所能承受的极限压应力的应力时，会失效。这种失效常归结于弹性不稳定性。 薄膜屈曲 ：是指材料受到压缩载荷导致的一种破坏模式，特征表现为垂直于载荷方向上大幅度的离面位移。 又称为泡（blister） 、脱层（delamination） 、褶皱（wrinkle） 。 名词解释 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 电话线型屈曲 圆形屈曲 直线型褶皱 典型屈曲模式 屈曲模式 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 屈曲模式 直线型屈曲 圆形 屈曲 电话线型屈曲 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 1.薄膜材料的重要利用价值和涂层技术的广泛 应用 2.薄膜中均存在残余应力 薄膜/ 基底结构通常是工作在残余应力和外加应力的联合作用下，破坏形式断裂和屈曲、散裂。 3.薄膜在纳米尺度上的变形和损伤直接影响到器件的性能和寿命。 薄膜屈曲研究的意义 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 薄膜屈曲的研究方法 由于薄膜的厚度极薄，只能采用特殊的实验技巧来测定薄膜的性质，其中主要的方法有划痕法、压入法和接触疲劳法， Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 薄膜屈曲的力学分析 基本定理： 如果引致能量释放率（induced energy release rate）超过界面韧性（toughness），那么屈曲就会扩展，反之屈曲就呈稳定状态。 1.直线型褶皱 公认的扩展模型：稳态扩展条件下，褶皱沿着弯曲的椭圆型前端扩展，而其后形成的直线型边缘并不扩展。 直线型褶皱的扩展模型 尽管屈曲直线边缘的能量释放率超过弯曲的扩展前沿，但是直线型边缘的韧性也显著超过了扩展前沿， Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 1.直线型