一种平面对准机构的运动学分析与参数标定研究.pdfVIP

· 机械制造 · 周毅，等 ·一种平面对准机构的运动学分析与参数标定研究 一 种平面对准机构的运动学分析与参数标定研究 周毅 ，陈建魁 ，尹周平 ，梁若 (a．数字制造装备与技术国家重点实验室 ．b．控制科学与工程系，华中科技大学，湖北 武汉 430074) 摘 要 ：以太阳能硅片丝网印刷装备为研究平 台，采用并联机构与视觉系统实现硅片和丝网的 对准，得到并联机构运动学正反解，完成运动学参数补偿与误差分析；提 出了一种区别于传统 视觉标定的视觉 自标定方法，所得优化参数使机械装配上引起的对准误差最小化。 关键词：丝网印刷；并联机构；运动学；自标定 中图分类号：TH113．2 文献标志码：A 文章编号：1671—5276(2012)04-0012-03 KinematicsAnalysisandParameterCalibrationStudyofPlanarAlignmentM echanism ZHOU Yi ，CHEN Jian—kui ，YIN Zhou—pin ，LIANG Ruo (a．StateKeyLabofDigitalManufacturingEquipmentTechnology；b．DepartmentofControlScienceEngineer— ing，HuazhongUniversityofScienceTechnology，Wuhan430074，China) Abstract：Basedonthestudyplatform ofthesolarsiliconwaferscreenprintingequipment，parallelmechanism andvisionsystem are usedtorealizethealignmentbetweenthesiliconwaferandthescreen，the kinematicspositive and inverse solutionsoftheparallel mechanism arededucedtocarryoutthekinematicparametercompensationandtheerroranatysis．Thispaperproposesaspecialvi- sion self-calibrationmethodwhisisusedtogettheoptimalparametersandandthealignmenterrorcausedbymechanicalassemblyis reducedto mininum ． Keywords：screenprinting；parallelmechanism ；kinematics；self-calibration 台调整量 (，y，0)与三个 电动机运动数据 (，，W)之间的 0 引言 映射关系；并完成误差分析与相关参数的运动学 自标定。 在硅太阳能电池制造中，提高太阳能电池的功率和生产 1 对位平台设计 力成为重要的挑战，丝网印刷工艺的优化成为其中关键的影 响因素之一。丝网印刷太阳能电极工艺现在 已经相当成熟， 本文对位平台以太 阳能硅片丝网印刷装备中的丝网 已经成为其主流工艺方式…。为保证印刷品质需要将硅片 调整模块为研究对象，采用平面三 自由度并联机构实现平 和丝网对准，要求对准精度达到 ±50L／m以上。对于丝网印 台的平移和转动，完成硅片与丝网精密对位。 刷 自动化装备，需要在硅片完成粗对准后，通过平台的自我 调整完成硅片与丝网的精确对位，以保证印刷图案的品质， 1．1 对准原理 装备的精密对位系统成为装备的关键部分。 根据印刷装备生产工艺和效率要求，为缩短丝网调整响 1965年 Stewart 首次在论文中提出一种用于飞行模 应时间和提高对位精度 ，采用一套平面j 自由度并联机构完 拟的六 自由度并联机构 ，使并联机构倍受研究人员的关 成丝网平台的