一种新型工业电加热器的开发与应用.pdfVIP

第 8期 机械 设计 与制造 2010年 8月 Machinery Design Manufacture 83 文章编号：1001—3997(2010)08—0083—02 一 种新型工业 电加热器的开发与应用 华同曙 丁建宁 谭 克z李锦春 (江苏工业学院，常州 213016)(。镇江东方电热有限公司，镇江 212132) Developmentofanew electricheaterandapplicationinindustry HUATong—shu，DINGJian—ning，TAN Ke，LIJin—chun (JiangsuPolytechnicUniversity，Changzhou213016，China) (。ZhenjiangDongfangElectricHeatingAppianceCo．，Ltd，Zhe~iang212132，China) 摘【 要】成功实现SiC1转化成SiHC1，的关键在于开发出适应这种苛刻工况下的新型电加热器。} 经过分析和实验，提出了二“次高温处理”和 “压扁”的新工艺，彻底排除了电热管填料氧化镁粉中的水分，g 减小了热态泄漏电流，保证了电加热器在(400—500)％连续长期稳定地工作8000h。新产品已经成功地应 ； 用于工业实际生产中，并打入了国际市场，具有明显的经济效益和社会效益。 2 关键词：SiCI；电加热；新工艺；经济效益和社会效益 l A【bstract】hWaStokeytodevelopnewelectricheaterchangingSiC14intoSiHC13succesllyunderl rigorouscondition．Afteranalysisandexperiment，ithadbeenbroughtforwardnewtechnologywith “tWO-- timehightemperaturetreatment”and“compressed”，waterhadbeenexcludedcompletelyoutofMgOpow—l der，thermalleakagecurrentwasless，theelectricheatingpipeWCI3ensuredworkingonthe(400-500)％ofr3 long-termstably8000h．Newproductshadbeensuccessfullyappliedtotheindustryactuallyandsoldl abroad,theY’e6ee，6。hec。n。micandsocialbenefi拈． 1 Keywords：SiCI4；Electricheating；Newtechnology；Botheconomicandsocialbenefi~ i y ；、0 0 幸 ； 0 ； y ： ， ， 占 0 ， 中图分类号：TH162，TM924 文献标识码 ：A 在多晶硅生产制造过程中，氯化工序和还原工序都会产生大 汽压力 ，内部的水汽难以克服窄长、密实的氧化镁粉层阻力而从 量的副产物SiC1，不仅影响多晶硅的生产成本，而且对环境会造 管口全部排出；加上氧化镁粉吸收水的一部分已经结合成为氢氧 成严重的污染。解决这个问题最好的办法在(400～5(】(】)℃工况下， 化镁 ，降低了氧化镁粉的绝缘性能 ，氢氧化镁在 300~C温度下不 通过触媒和硅粉活化后氢化 ，将 SiC1转化为 SiHC1循环利用。 能完全分解。 这就需要提供在强腐蚀、长期高温隋况下都能连续不问断工作的 稳定加热系统l1_。 工业