一种新型真空吸附装置的研究.pdfVIP

● 研究与 DOI：10．3969／j．issn．1009-9492．2012．07．018 一 种新型真空吸附装置的研究 潘继生 ，李 扬 ，黎 勉 ，陈益民 (1．广东工业大学机电工程学院，广东广州 510006；2．广东工业大学信息工程学院，广东广州 510006) 摘要：提出一种具有振动分离功能的新型真空吸附装置，这种装置的优点是通过高频振动装置能够实现圆片 (薄片)在高速起 边和搬运过程中彻底分离。对装置的工作原理、结构进行了介绍，并对真空吸附装置的吸附力及高频振动装置的振动力进行了 计算分析并列举了应用实例。 关键词：圆片；起边机构 ；真空吸附；高频振动 中图分类号：TB79 TH48 文献标识码：A 文章编号：1009—9492(2012)07—0057一O3 Research0naNew Vacuum AdsorptionDevice PANji—sheng，LIYang，LIMia