低成本柔顺板式精密定位平台的理论与试验.pdfVIP

学兔兔 第44卷第10期 机 械 工 程 学 报 Vo1．44No．10 2008年 10月 CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGNI EERING Oct． 2008 DoI：l0．3901／JM E．2008．10．177 低成本柔顺板式精密定位平台的理论与试验 王 华 张宪民 (华南理工大学机械工程学院 广州 510640) 摘要：基于柔顺薄板的弹性变形原理，提出一种低成本、整体式柔顺精密定位平台的设计方法。设计一种平板弹簧机构，使 平台能够在较低精度驱动器的驱动下获得高精度的位移输出，从而大幅度降低精密定位平台的成本。建立平台的刚度模型， 分析驱动器的精度与平台的定位精度之间的相互关系。最后，分析加工误差对平台定位精度的影响，得出影响定位精度的 关键结构参数。通过试验测试，得出驱动器的输入位移和精度分别为4real和 10lam，平台的输出位移和精度分别为 9 m 和 40nm，线性度