光纤传感器测量小孔圆度误差.pdfVIP

学兔兔 第4期 (总第167期) 机 械 工 程 与 自 动 化 No．4 2011年8月 MECHANICAL ENGINEERING ＆ AUT0MATION Aug． 文章编号：1672—6413(2011)04一O¨8一o3 光纤传感器测量小孔圆度误差 张善文，董 峰，李瑞光 (山东理工大学 机械．T-程学院，山东 淄博 255049) 摘要：提出了采用光纤传感器测量小孔圆度误差的一种新方法。该系统由光纤测量探头和以微型计算机为基 础的控制电路组成。光纤探头由单根多模光纤制成，采用反射式光强调制原理。由红外发光二极管提供稳定 的光源，返回光信号由光电二汲管接收，并经过光电转换，由微机进行信息处理。传感器测头的结构小巧、 抗干扰能力强，可以在高电压、强磁场和空间狭小的条件下工作，具有很强的通用性。实验表明该方法能可 靠精确地测得小孔圆度误差。 关键词：光纤传感器；小孔；圆度误差；最小二乘法 中图分类号：TH161 ．13 文献标识码：A 0 引言 1 光纤传感器测量原理及测量方法 在机械加工与测量生产实践当中，形位误差中的 1．1 光纤传感器测距原理 圆度误差是评价回转体零件的一项重要指标，它用于 光纤是由光透射率高的电介质构成的光通路，是 控制被测圆柱面任一正截面实际圆相对于理想圆的变 由折射率较大的纤芯和折射率较小的包层构成的双层 动量。工件外表面圆度误差的测量比较简单易行，可 同心圆柱结构，主要利用光线的全反射原理进行信号 用卡尺类仪器、圆度仪等直接测量，但小孔圆度误差 传输。本文采用强度调制光纤传感器，其基本原理 的测量由于受到其内表面狭小空间的限制，对其测量 是：待测的物理量引起光纤中传输光强的变化，通过 则比较复杂，一般采用接触式和非接触式两种方法测 检测光强的变化实现对待测物理量的测量。强度调制 量。传统的接触式测量方法误差较大，操作不便，有 方式有透射式强度调制、反射式强度调制、光膜式强 的不能测量盲孔，有的测量过于复杂，对某些位置特 度调制以及折射率和吸收系数强度调制等。考虑到小 殊、精密的小孔，难以实现准确的测量。随着光学器 孔结构和测量方式，本文采用反射式强度调制光纤传 具、光纤传感器以及计算机技术的发展，非接触式测 感器。此种光纤传感器是非功能型的，光纤只起到传 量蓬勃发展起来。运用高性能计算机及软件技术、光 光作用，分为输入光纤和输出光纤。其调制机理是利 学、光学成像、声学与机器动作多种混合技术实现的 用输入光纤将光源的光射向被测物体表面，再从被测 逻辑计量与检测，可以实现小孔形状误差较精确的测 物体表面反射到输出光纤当中。输入输出光纤位置固 量，即使是特殊位置的孔，也能够灵活方便地进行检 定时，输出光纤接收到光强的大小随被测表面与光纤 测。光纤传感器是光电子技术的新结晶，它具有灵敏 之问的距离而变化。 度高、不受电磁干扰、体积小、重量轻、使用方便等 本文所涉及的小孔圆度误差测量原理是以光强响 特点，目前已广泛应用于尺寸、压力、流量、温度等 应特性曲线为设计依据的，该特性调制函数可借助于 各种物理量的测量和控制中。本文所研究的光纤传感 光纤端出射光场的场强分布函数给出，即： 器具有结构简单、使用方便、测量精度高、可以测量