光学薄膜表面微细缺陷在线检测方法研究.pdfVIP

机械设计与制造 第 10期 102 Machinery Design Manufacture 2011年 10月 文章编号：1001—3997(2011)l0—0102—03 光学薄膜表面微细缺陷在线检测方法研究木 钟球盛 胡广华 李静 蓉 (华南理工大学 机械与汽车工程学院，广州 510641) Researchonon—-lineinspectingalgorithm formicro-defectsofopticalfilmssurface ZHONGQiu—sheng，HUGuang—hua，LIJing-rong (SchoolofMechanicalAutomotiveEngineering，SouthChinaUniv．ofTech，Guangzhou510641，China) ； 摘【 要】为了对光学薄膜进行精密光学检测，需要采用数个具有高解析度的线阵CCD相机进行 i }光学薄膜缺陷图像的同步采集。基于计算机视觉的理论，提出了一种有效的自动质量监测方案，实现对 { ；光学薄膜表面微细缺陷项目的检测，并根据检测结果驱动打标机对光学薄膜缺陷进行自动标识和定 ： }位，该方法具有高精度、实时、在线和非接触的显著优势。探索性实验结果表明，采用该方法可获得光学 l薄膜表面缺陷的清晰图像，缺陷的细节能够得到很好的展现，并且能够完成缺陷特征的提取与／7．~1j。 2 } 关键词：光学薄膜；缺陷检测；计算机视觉 { l A【bstract】／nthisstudy，0defectinspectionsystemforopticalfilm~hasbeendeveloped，inwhich{ }severallinescanCCDcameraswithhighresolutionareusedtoacquiretheimagesofthefilm~syn一{ lchronously．BasedontheMachineVisiontechnology，anefficientandeffectivequalitymonitoringschemei 》hasbeenproposedtofindoutthemicrodefectsfromtheimages．Resultsgivenbythemonitoringarethen{ lusedtocontrol口markingmachinetomrakthepositi0n8ofthedefecsinthefilm~．Compraedwithmanual 》inspectingway，theproposedmethodisoutstandingsinceithassomepromisingbenefitssuchashigh re一{ lcisi。real—，，。n—lineandnon-contactE·xperimentalresl“tsindice cleradefec￡imagescan6e。6一； } d，fect’sdetailcnabedisplayedperfeclyandhe c Mrecan6eer∞把dnadrecognz／e ? Keywords：Opticalfilms；Defectinspecting；Machinevision ’ ■1n■●1 ■●1h■●1^■●1h 1 r _1h 、 、— ■ ／t P ■ 1 ～ ● r ，■、 ， “ ， i j、 ●1 √ ’ 中图分类号：TH16，TP391．4，TN247 文献标识码：A 1弓l言 基础上…，区别在于各自的特殊应用环境不相同，因而难以构建一 传统的光学薄膜质量的检测方法主要是人工离线通过放大 种通用的视觉系统。首先，光学薄膜作为被检测对象，其材质具有 镜肉眼检测的方法。用于光学薄膜行业的机器视觉检测系统尚不 透明性，透光率大于90