压电式双驱微进给系统设计及定位精度研究.pdfVIP

第 l2期 机械 设计 与制造 2015年 l2月 Machinery Design Manufacture 243 压电式双驱微进给系统设计及定位精度研究 卢 红，陈 翔，郑佳文 (武汉理工大学 机电工程学院，湖北 武汉 430070) 摘 要：针对压电陶瓷存在的迟滞特性，为提高微动台定位精度，提 出一种基于双驱控制技术的双压电驱动的微进给系 统。系统采用运动控制器作为控制部分，双压 电陶瓷以推拉形式同时驱动微动台，配置多个位移传感器构成闭环控制系 统。为验证 系统定位精度，针对压 电陶瓷的迟滞特性，采用Preisach—Mayergoyz模型分别进行 系统开／闭环控制定位误差 对比实验。实验结果表明，相比于单个压电陶瓷驱动，双压电陶瓷同时驱动的情况下系统最大定位误差更小，闭环状态下 双压 电驱动微动台系统定位精度更高，最大定位误差明显减小，系统稳定性更高。 关键词：双驱控制；Preisach模型；压电驱动；微