双光栅尺在高速高精度位移测量中的应用.pdfVIP

2012年 9月 机床与液压 Sep．2012 第 4O卷 第 17期 MACHINE TOOL HYDRAULICS Vo1．40No．17 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2012．17．032 双光栅尺在高速高精度位移测量中的应用 殷庆纵 ‘，刘杰 (1．苏州工业职业技术学院电子工程系，江苏苏州215104； 2．苏州印像镭射有限公司，江苏苏州 215004) 摘要：由于光栅尺本身结构上的原因，采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量。设计一种基于双光栅尺的 高速高精度位移测量仪，通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成 ，实现了高速高分辨率的位移测 量。实验结果表明：在光栅尺运动速度大于 1．2m／s时，采用此方法可达到10nm分辨率。它在高速高精度和大量程的直 线位移测量领域具有广泛的应用前景。 关键词：双光栅尺；高速高