双曲面四极质量分析器制造工艺研究.pdfVIP

机械设计与制造 第 1O期 122 Machinery Design Manufacture 2013年 10月 双曲面四极质量分析器制造工艺研究 吴定柱，刘兴宝，蒋家东，钱志强，岳晓斌 (中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所 超精密加工技术重点实验室，四川 绵阳 621900) 摘 要：作为研究物质基本组成、结构特征、物理和化学性质的最基本的仪器一质谱仪，由于其直接测量的本质和高灵 敏、高分辨性，被广泛应用于环境监测、食品安全、生命科学等多个领域。四极质量分析器是四极式质谱仪的核心部件， 其零件及部件主要精度误差都要求小于0．005mm，传统制造工艺已经无法满足要求。提出了一种零件组合和部件组合 加工方法，利用该方法}S~Z-了一套双曲面型四极质量分析器，加工后零件的表面粗糙度为RaO．2m、两组对杆 140mm范 围内平行度 4p．m。 关键词：四极质量分析器；双 曲面极杆；组合加工；比较测量 中图分类号：TH16；TH832．4+2 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2013)10—0122—02 ResearchonaManufacturingProcessoftheHyperboloidalQuadrupoleMassFilter WUDing-zhu，LIUXing-bao，JIANGJia-dong，QIANZhi-qiang，YUEXiao—bin (InstituteofMechanicalManufacturingTechnology，LaboratoryofPrecisionManufacturingTechnoloyg，CAEP，Sichuan Mianyang621900，China) Abstract：Asthethemostbasicinstrumentsinresearchingmaterialcomposition，structurecharacteristics，basicphysicaland chemicalproperties—massspectrometer，duetoitsnatureofdirectmeasurementandhighsensitivity，highresolution，si widelyusedinenvironmentalmonitoring，foods ty， scienceandotherfiel~．Thequadrupolemassfilterisoneofthemost importnatpartsinmassspectrometry(MS)usedinthenaalyssialva．ButthemnaufacturingeFrorsandtheassemblyerrorsofthe pratsraealllessthe0．005millimeter，whichhasnotbeenmetforthetraditionalmanufacturingmethod．Anewmachiningprocess ofthehyperboloidalquadrupolemossflterisputforwrad．Onehasbeenmadebythsimethod．Themachiningaccuracyofthe roughnessisRa0-2m，nadthedepthofparallelismforthetwooppositeploesis4lxminlongdirection(range：140mm)． KeyW ords：QuadrupoleMassFilter；HyperboloidalPole；AssembledMachining；ComparativeMeasure 1引言 器场分布为通过理想双曲面电极得到的理想双曲电场，但实际中 理想双曲面极杆的加工、装配都相当困难 ，因而在国产四极