基于电容耦合的微细电火花加工杂散电容测量方法的研究.pdfVIP

《电加工与模具)2015年第4期 设计 ·研 究 基于电容耦合的微细电火花加工 杂散电容测量方法的研究 李志彬，冯光磊 ，杨晓冬 (哈尔滨工业大学机电工程学院，黑龙江哈尔滨 150001) 摘要：提 出了基于电容耦合原理 的微细电火花加工机床杂散 电容的测量方法。根据 电容耦合 分压原理，通过测量极间开路 电压，可推算出机床的杂散 电容。利用电路仿真软件验证 了方法的可 行性，并通过实验证 明了方法的可靠性。 关键词 ：微细电火花加工 ；杂散电容 ；电容耦合 ；示波器 中图分类号：TG661 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009—279X(2015)04—0022—03 StudyontheM easurementM ethodofStrayCapacitancein M icroEDM Basedon CapacityCoupled LiZhibin，FengGuanglei，YangXiaodong (SchoolofMechatronicsEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：Based on the capacity coupledprinciple，ameasurementmethodofstray capacity in microEDM isproposed．Thestraycapacitanceonthemachinecanbecalculatedbymeasuringthegap openvoltagebasedonthevoltage-dividertheorem．Thefeasibilityofthemethodwasverifiedthrough thecircuitsimulationsoftware，thenthereliabilityofthemethodwasprovedthroughtheexperiments． Keywords：micro-EDM ；straycapacitance；capacitycoupled；oscilloscope 随着微细零部件加工需求的增加及MEMS技 工件、工作台问的杂散电容 。为评估机床的杂散电 术的发展 ，对微细电火花加工的需求 日益增多。减 容对放电能量的影响，有必要对其进行测量 。 小脉冲 电源单个脉冲的放电能量是实现微细电火 杨晓冬等提出的基于 电容耦合原理的微细电 花加工 的关键之一。通常 ，微米级 的加工精度及表 火花加工方法是利用工具 电极和工件之 间形成 的 面粗糙度所需的单个脉冲放 电能量应控制在 1O一 静 电容量 ，并增加一个给 电电容，使其与极 问等效 1O J数量级之间。对于传统RC脉冲电源，为降低 静电电容串联接在方波脉冲电源的两端，并通过电 单个脉冲的放 电能量 ，主要 的解决途径是减小 回路 容耦合的方式给极间充 电I”。该方法 由于能避免杂 的电容容量。然而，RC脉冲电源回路 中的电容容值 散电容的不利影响，故可获得更微小的放电能量。 并非单纯地指 电路中的标称容值 ，还包含各种杂散 同时，该方法也为微细电火花加工机床杂散电容 的 电容 。 测量提供了可能。 为实现单个脉冲放电能量的最小化 ，在实际微 1 基于电容耦合的杂散 电容测量原理 细电火花加工 中，通常不在 RC回路 中接入电容 ，而 电容耦合是 电子耦合的一种