组合式微细电火花电极制作工艺试验研究.pdfVIP

设 计 ·研 究 《电加工与模具》2012年第3期 组合式微细电火花电极制作工艺试验研究 郦 羽 ，白基成 ，王燕青 ，李浩洲 (1．哈尔滨工业大学机 电工程学院，黑龙江哈尔滨 150001； 2．江苏冬庆数控机床有限公司，江苏泰州 225300) 摘要：针对块电极磨 削效率高和线电极磨削(wEDG)精度高的优点 ，采用块电极磨削和线电极 磨削相结合的方法 ，在 多模式脉冲 电源下制定 了块 电极磨 削作为粗磨 削、线 电极磨 削作为中、精磨 削的微细 电火花 电极制作 工艺流程 。采用去 离子水作为工作液 ，分别对块 电极磨削和线 电极磨削 进行了电源模式和电参数试验 ，分析试验结果，总结出一组适合于粗、中、精磨削的电参数组合，研 究出一套加工效率高、精度高且直径一致性高的电极制作工艺方法。并通过试验验证 了该工艺方 法能稳定加工 出长径比大于 l6的微细电极 ，利用其加工出了256个直径小于50btm、直径偏差在 2 m 内的微细 阵列孔 。 关键词：微细电火花加工；块电极磨削；线 电极磨削；多模式脉冲电源 ；去离子水 中图分类号：TG661 文献标识码 ：A 文章编号：1009—279X(2012)03—0005—04 Research ontheCombination ProcessOfM icro—electrodeFabricationbyM icro—EDM LiYu ，BaiJieheng，WangYanqing ，LiHaozhou (1．HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China； 2．JiangsuDongqingCNCMachineToolCo．，Ltd，Taizhou225300，China) Abstract：BecauseofhighefficiencyofblockelectrodeandhighprecisionofW EDG inprocessing， thetwoprocessingunitsarecombinedtogethertostudyinthispaper．W iththemulti-modepulsegen— erator，amethodtofabricatemicro—electrodeisdevelopedbasedonit，whichcontainsthreesteps，the roughprocessingbyblockelectrode，theintermediateprocessingandfinishprocessingbyWEDG．Us— ingdeionizedwaterasworkingfluid，thetestsofpulsegeneratormodeselectionandtheexperimentsof electricparameterselectionaredonerespectively．A groupofelectricparametersforthethreeprocess· ingstepsareobtainedwiththeexperimentalresults．A micro·electrodefabricationmethodwith high efficiency，high accuracy isdeveloped eventually．Atlast，it’Sverifiedwith experimentsthatthe methodcanstablyfabricateamicroshaftwhoseLength／Diameterisgreaterthan16．And256array micro—holeswithdiameteroflessthan50 m，deviationoflessthan2 m a