多晶硅项目洁净管道的施工技术.pdfVIP

学兔兔 第7期 一59一 多晶硅项目洁净管道的施工技术 雷鹏 (陕西建工安装集团有限公司，陕西西安71 0068) [摘 要]分析了多晶硅项目中影响管道洁净的因素，制订了保证管道洁净施工的3--艺技术措施，保证了多晶硅项目中工艺 管道施工的洁净度要求，满足了多晶硅生产要求。 [关键词]多晶硅；洁净度；工艺施工；技术要求 随着社会的进步，人类对非化石能源的关注 2多晶硅洁净管道施工的工艺技术措施 度越来越高。多晶硅作为新能源的基石材料，其 参与多晶硅洁净管道施工的人员在施工前要 需求量特别是电子级多晶硅的需求量曰益增大。 进过严格的培训，所有施工人员要了解多晶硅的 多晶硅是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制 生产特点及要求，应当在思想上充分认识到：一 品的主要原料，是信息产业和新能源产业最基础 旦施工完成，就没有机会补救；在施工过程中务 的原材料。电子级多晶硅的生产工艺要求原料要 必按照工艺技术要求施工，并形成记录，任何有 在 “无油、无水、无尘”的环境下运行。目前， 疑问之处必须在明确以后才能进行下一道工序。 国内尚无专业性、针对性的规范及标准，我公司 2．1管材、管件、阀门的清洗 在工程实践的基础上，经过反复探索求证，总结 目前，国内设备及管道清洗大多采用酸洗、 出一套行之有效的多晶硅洁净管道施工技术，相 钝化方式，药剂选用无机酸与金属表面的氧化物 继在几个多晶硅项目上实施，取得了良好效果。 反应，生成溶于水的盐，再利用NaOH、Na PO 等 1影响多晶硅管道洁净度的因素 碱性盐和金属反应，在表面生产致密钝化层。这 1．1材料因素 种方法的特点是反应速度快、条件简单，缺点是 多晶硅工艺管道与其他化工项目相比，主要 容易造成过腐蚀，使母材有效壁厚减薄，钝化膜 是管材、管件、阀门到达施工现场后不能直接使 表面易残留Na、P离子。 用，必须经过脱脂清洗、干燥、保存等环节才能 经过比较，我们选择使用络合清洗法，主要 使用。 药剂选用有机化合物，不含Na、P，反应速度慢， 1．2人为因素 需要一定的温度，药剂只和金属表面氧化物反 应，不会形成过腐蚀及氢脆。 多晶硅工艺管道对洁净度的苛刻要求给施工 人员提出了更加严格的要求。因为施工习惯的原 (1)施工前，对到货的管道设备采用中性除油 因，很容易在施工过程中对管道的洁净度造成二 除锈技术，即在pH=6～7的生物降解池中浸泡6～8 次污染。 h，利用络和原理，一步完成除油除绣。 (2)经过浸泡的阀门、管道、管件、设备在中