涡轮分子泵动叶片对轴系临界转速的影响.pdfVIP

第7期 机械设计与制造 2014年 7月 Machinery Design Manufacture 109 涡轮分子泵动叶片对轴系临界转速的影响 华海宇，罗 阳 (四川大学 制造科学与工程学院，四川 成都 610065) 摘 要：涡轮分子泵轴系临界转速是泵设计过程中的重要参数，当轴系在其临界转速或附近运转时，产生的剧烈振动会 严重影响轴系的稳定性。为了探究动叶片对-l占界转速的影响，在对泵的转子系统进行简化的前提下，利用传递矩阵法计 算了轴系临界转速并在此基础上借助有限元软件SolidworksSimulation对动叶片的共振频率进行了研究，有限元分析结 果说明单个动叶片的共振频率远高于轴系临界转速；动叶片组在分析中-*q-rX简化为远程质量且将大幅度降低轴系临界 转速，因此计算时必须将动叶片组包含在内。 关键词：涡轮分子泵；临界转速；传递矩阵法；有限元分析：远程质量 中图分类号：TH16；TB752．27 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2014)07—0109—03 EffectoftheRotorBladeofaTurboMolecularPump ontheCriticalSpeedofShafting HUA Hai-yu，LUOYang (SchoolofManufacturingScienceandEngineeringofSichuanUniversity，SichuanChengdu610065，China) Abstract：Thecriticalspeedofshaftingof口turbomolecularpumpis吼 impoaantparameterdudngthedesignprocess．when thesh worksnerathatspeed，vibrationwilldoharmtothestabilizatoinoftheshe Inordertosearchtheeffectoftherotor bladeORthecritcialspeed，Oltthebasisofthesimplfiiedpump，itcalculatesthe critcialspeedwithtransfermatrixmethod anddoesresearchonnsinglerotorbladewiththefiniteelementSoj~wraeSolidworksSimulation，andtheresultsshowthatthe resonancefrequencyoftherootrbladeismuchhigherthanthecritcialspeed，therootrbladeintheanalysiscarbesimplfiied otaremotequality，anditwillgreatlyreducethecritcialspeedoftheshafting，SOtherotorbladergoupmustbeincludedin the calculatoiIt． KeyWords：TurboMolecularPump；CriticalSpeed；TransferMatrixMethod；FiniteElementAnalysis；RemoteQuality 1引言 涡轮分子泵是一种利用高速旋转的叶片把动量传输给被抽 气体分子，使气体分子能够连续不断地从入口运动到出口并排出 的动量传输式真空泵，被广泛应用在半导体、真空镀膜等行业。作 为高速精密机械，对其轴系结构的机械特性有着很高要求。 涡轮分子泵工作在其第一阶临界转速之上。轴系结构在其 临界转速或附近运转时，产生强烈 自激振动并造成失稳 l】『。根据泵 的实际情况，利用有限元软件SolidworksSimulation，通过计算单