飞秒激光烧蚀不锈钢的实验研究.pdfVIP

第 1期 机械 设计 与制造 2015年 1月 Machinery Design Manufacture 117 飞秒激光烧蚀不锈钢的实验研究 刘春生，李明星，齐立涛 (黑龙江科技大学 机械工程学院，黑龙江 哈尔滨 150022) 摘 要：进行了飞秒激光烧蚀不锈钢(SUS420)的工艺实验研究。采用波长为780nm，脉宽为 164fs，频率为 lkHz的飞秒激 光照射不锈钢。对比分析了长短脉冲激光烧蚀不锈钢的作用过程，计算了单脉冲飞秒激光烧蚀不锈钢的烧蚀阈值和烧蚀 阈值随脉冲数量改变的累计系数，研究了不同激光参数烧蚀不锈钢的工艺规律。结果表明：飞秒激光烧蚀金属材料的过 程中对加工区域周围具有较小的热影响；单脉冲飞秒激光烧蚀不锈钢的烧蚀阈值为0．25Jc／m2，烧蚀阈值随脉冲数量改变 的累计系数为O．68；飞秒激光脉冲能量对烧蚀孔孔径的增加 比较明显，脉冲数量对烧蚀孔孔深的增加 比较显著。 关键词：飞秒激光；激光微细加工；不锈钢；烧蚀阈值 中图分类号：TH16；TN249 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2015)叭一O1l7—04 ExperimentalInvestigationonFemtosecondLaserAblationofStainlessSteel LIUChun-sheng，LIMing-xing，QILi—tao (SchoolofMechanicalEngineering，HeilongjiangUniversityofScienceandTechnology，HeilongjiangHarbin150022，China) Abstract：Experimentonfemtosecondlaser如lationofstainlesssteel (SUS420)Wascarriedout．ThestainlesssteelWas irradiatedbyfemtosecondlaserwithawavelengthof780nm，apulsewidthof164fs，andrepetitionrateoflkHzunderthe staticexperimentalcondition．Th eablationprocessandresultwerecomparedwithultrashortlasernadlongpulsedlaserablotion ofstainlesssteelThebalationthresholdoffemtasecondlaserbalationofstainlesssteelWascalculatedandincubationcoefficient ofmultifemtosecondlaserpulsebalationofstainlesssteelWasobtainedTheresuhsshowsthat mtosecondlaserbalationof stainlesssteelhassmallheataffectedzone；balationthresholdofsinglefemtosecondlaserpulsebalationofstainlesssteelis0．25 Jc／m2andincubationcoefficientis0．68；thediameteranddepthofthebalatedholecartbeadjustedbychnagingthepulse energynadnumberofthelaserpulse． KeyW ords：FemtosecondLaser；LaserMicromachining；StainlessSteel；AblationThreshold 1引言 激光进行了烧蚀不锈钢的实验研究。首先，通过一维双温模型对 比分析了长短脉冲