基于人机工程学的光刻机嵌入式控制面板界面设计.pdfVIP

2014年 1月 机械设计与制造工程 Jan．2014 第43卷 第 1期 MachineDesignandManufacturingEn~neefing Vo1．43No．1 HJ5： 2IDOI：10．3969／j．issn．2095—509X．2014．01．009 基于人机工程学的光刻机嵌入式控制面板界面设计 蒋 薇 ，蒲小琼 ，陈 军。，赵立新 ，胡 松 (1．四川大学 制造科学与工程学院，四川 成都 610065) (2．中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209) (3．成都纺织高等专科学校 艺术学院，四川 成都 611731) 摘要：基于人机工程学的研究方法，以光刻机嵌入式控制面板的人机信息交互作为设计切入点， 结合工程实践分析了控制面板显示器和控制器在使用时的特点，探讨 了光刻机控制面板在界面 设计 中应遵循的原则。在此基础上，设计 了一套可行的光刻机嵌入式控制面板 。 关键词：控制面板；人机界面；光刻机；人机工程学；设计