基于压电陶瓷驱动的快刀伺服系统的研制.pdfVIP

D嘞n and R删，ch 设计与研究 基 于 压 电 陶 瓷 驱 动 的 快 刀 伺 服 系 统 的 研 制 陈 武 李克天 刘洪飞 赵荣丽 ( 广东工业大学，广东广州510006) 摘要：设计了一款基于压电陶瓷驱动、利用柔性铰链铰接 的微结构加工快刀伺服系统。用理论计算和有 限元分析软件对柔性铰链进行 了优化和分析 ，并进行了实际加工和测试。测试结果表 明该系统能 达到最大的加工行程为60呻；并且在O一39岬的加工行程范围内运动频响可达到150 Hz 。 关键词：微结构加工；压电陶瓷；柔性铰链；快刀伺服；有 限元分析 中图分类号：TG669 文献标识码：B Deve I Opment Of a f ast t OOI s en ，O syst em bas e d On p ezOeI ect r c c er am c CHEN Wu ，LI Ket an ，LI U Hon gf e ，ZHAO Ron gl ( Guangdong Un ver s t y of Technol ogy，Guangzhou 5 1 0006，CHN) Abs t r act ：Th s pa pe r de s gne d a f a st t 001 se n，o( FTS) de v ce b as ed on p ez oel ect r c c er am c and j o nt ed by nex bl e nex bl e was and bot h t he t heor et cal cal cul at on and f n t e e l e- h nge ．The h nge an al yze d op t m zed by ment anal ys s so f t wa r e ；and t had be en phys cal pr oc ess ed and t e st e d．The t e st ng I e sul t s nd cat e d t hat t h s FTr S sy st e m ca n r e ach a t mvel mn ge f or 60斗m；and t }l e f kquency r es pon se r e ach 1 50 Hz w t h n 39 斗m t r aVel r a ng e ． Ke ywor ds ：m c m st mct u r e mach n ng ；p ezoel ect r c c er am c (PZT) ；Ⅱexur e h nge ；f as t t ool s er vo( FTr S) ；f n t e el e— ment anal vs s 利用快速伺服刀具技术( f ast t ool s er vo，兀’S) 可以 1快刀伺服系统的结构设计与分析 进行光学 自由曲面的超精密加工 ¨J 。 本文确定的快刀伺服系统性能参数如下：最大行 程为60斗m，O一39 斗m范围内运动频响达到150 Hz。 1．1快刀伺服装置 的总体结构设计 直线