微细电火花制备大长径比微细电极的工艺研究.pdfVIP

第1期 组 合机 床与 自动化加 工技 术 No．1 2016年 1月 ModularM achineTool＆ AutomaticM anufacturingTechnique Jan．2016 文章编号 ：1001—2265(2016)01—0140—04 DOI：10．13462／j．cnki．mmtamt．2016．01．039 微细电火花制备大长径比微细电极的工艺研究 孟 洁，白基成，李 强，曹 剡 (哈尔滨工业大学 机电工程学院，哈尔滨 150001) 摘要：针对电火花块电极磨削效率高和线电极磨削精度高的优点，采用块 电极磨削为微细电极的粗 磨削、线电极磨削为微细电极的中、精磨削方式，对大长径比微细电极的制作技术进行研究。通过分 析微细电火花加工大长径比微细电极的影响因素，对影响大长径比微细电极制作的加工参数进行了 大量的工艺试验，得到各参数对微细电极制作的影响规律，优选得到相关的大长径比微细电极的加 工参数 ，并进行 了实验验证。 关键词 ：微细电火花 ；微细电极 ；块 电极磨削；线 电极磨削；大长径比 中图分类号：TH162；TG661 文献标识码 ：A TheResearchofM icroElectrodewithLargeAspectRatiobyM icro·EDM MENGJie，BAIJi—cheng，LIQiang，CAOYan (SchoolofMechatronicEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：BecauseofhighefficiencyofBEDG andhighprecisionofWEDG inprocessing，combingBEDG andWEDG togethertobethemethodoffabricatingmicroelectrodewithlargeaspectratio，whichcontains threesteps，hteroughprocessingbyBEDG，hteintermediateandfinishprocessingbyW EDG．Thenagroup ofpraametersforthethreeprocessingstepsareobtainedthroughenomr ousexperimentsandmadeexpefimen· talverification． Keywords：micro—EDM ；microelectrode；BEDG ；WEDG ；lrageaspectratio 效率低 ，表面质量不理想。哈尔滨工业大学李刚通过 O 引言 采用块电极粗加工，刃 口电极精加工相结合的方法，加 随着微机电系统的发展 ，对微型结构 的零部件需 工出直径 3．5／zm，长度为6 m的微细电极，但刃口电 求量越来越大。目前，加工微型结构的方法很多，其中 极的制作和安装限制了其发展 J。S．H．Choi等人采 微细电火花铣削加工技术 以其非接触式加工、不受材 用电火花光刻法通过光致抗蚀剂掩模成功加工电极直 料硬度限制等优势成为加工微型结构的一种重要方 径为5x／m，长度为3mm，带有 0．0锥度的大长径 比微 法。采用微细电火花铣削技术加工具有微型腔、微小 细电极 引。 孔以及阶梯孔等微型结构的零部件，需要制备直径很 由于存在二次安装误差，采用 电解或者光刻法等 小的微细电极 ；另一方面，在微细电火花铣削加工中，