陈硕《机械工程测试技术》4-5 常用传感器-电容式.pdfVIP

第4章 常用传感器 机械工程测试技术 华中科技大学机械学院 4.5 电容式传感器 1.变换原理: 将被测量的变化转化为电容量变化， 实质上是一个具有可变参数的电容器。 A 两平行极板组成的电容器,它的 电容量为:  A C 0  式中，  — 极板间介质的相对介电系数， 在空气中为1。   —真空介质介电系数，=8.85 ×10-12F/m  2 —极板间距离(m)；A —极板面积(m)。 、A 或 发生变化时，都会引起电容的变化。 电容式传感器 机械工程测试技术 华中科技大学机械学院 (1)极距变化型  A C 0   如果电容器的面积和极间介质不变，极距 有一个微小变化量d时，引起电容的变化量dC 为 A dC  0 d 2 由此可得到传感器的灵敏度 S dC d A 2 0 与极距平方成反比， ↓，S ↑ 。 电容式传感器 机械工程测试技术 华中科技大学机械学院 S dC d A 2 0 由于灵敏度随极距平方而反比变化，会引起非线性 误差。为了减少此误差，通常规定在较小的间隙变化 范围内工作，以便获得近似的线性关系。一般取极距 变化范围约为/ ≈0.1 。 0 •优点:是可进行动态非接触式测量，对被测系统的影 响小;灵敏度高，适用于较小位移 (0.01m-数百微米) 的测量。 •缺点:有非线性特性、传感器的杂散电容也对灵敏度 和测量精确度有影响，与传感器配合使用的电子线路 也比较复杂，由于这些，其使用范围受到一定限制。 在实际应用中，为了提高传感器的灵敏度、线性度 以及克服某些外界条件 (如电源电压、环境温度等)的 变化对测量精确度的影响，常常采用差动式。 电容式传感器 机械工程测试技术 华中科技大学机