基于UG的蓝宝石衬底基片双面研磨轨迹研究.pdfVIP

机械 设计 与制造 第 2期 14 Machinery Design Manufacture 2012年 2月 文章编号：1001—3997(2012)02—0014—03 基于UG的蓝宝石衬底基片双面研磨轨迹研究 白立刚 周 海 王 鹏 章 超 (’江苏大学，镇江 212013)(盐城工学院，盐城 224051) Researchaboutdouble-sidelappingtracksofsapphiresubstratesbasedonunigraphics BAILi-gangl,ZHOU Hai2,WANGPengI,ZHANG Chao (JiangsuUniversity，Zhe~iang212013，China) (YanchengInstituteofTechnology，Yancheng224051，China) l 摘【 要】通过数学理论建模与UG建模，建立了蓝宝石衬底基片双面研磨的运动模型并获得了在 }三种传动比情况下行星齿轮上不同点的轨迹。通过分析研磨轨迹和研磨速度可知在传动比为l时行星 ；齿轮各点的轨迹为均匀分布的圆形且速度相等，所有点的运动周期相等而且比其它情况下的周期短， ；有利于提高研磨效率和形状精度，结果成功地解决了由于行星齿轮内的衬底基片各点处速度不一样而 }导致的平面度差的问题和行星齿轮中心不能放置蓝宝石衬底基片的问题。 l 关键词：蓝宝石衬底基片；轨迹；速度；形状精度 ； A【bstract】A dynamicmodefwithsapphiresubstratedouble-sidelappedisestablishedtoachieve }tracksofdfiferentpointsonplanetarygearwiththreetrnasmissionratiobyusingmathematicaltheorymodel- l nadunigraphics(UG)modeling．ByanalyzinglpapingtracksnadvelocityitCna befoundthatwhenz ；trnasmissionratioisl砘tracksofallpointsontheplanetarygeararecircleseven-distributedwiths伽zeve— t ；locityandtheirmovementcyclesraeshorterthnathatunderotherconditionswhichmayfacilitatetoimprove llpapingefficiencynadformingaccuracy．Asnresult，theproblemofbadflatnesscausedbydfiferentvelocityof }pointsnadspaphiresubstratesbeingnotpermittedtosetinplanetraygeracenteraresuccessfullysolved l Keywords：Sapphiresubstrate；Tracks；Velocity；Formaccuracy 中图分类号：TH161，TN205 文献标识码 ：A l1 jl=，II面兰 性能和机械I生能，价格适中，而且与GaN薄膜的晶格失配常数低， 因此蓝宝石晶体成为制造蓝光、白光LED的主要衬底材料剐。 由于LED产品具有高寿命 、耗电少、发热量低、抗震稳定性 蓝宝石衬底基片的加工工艺可以大致分为切片、研磨 、抛 好、高亮度、节能环保等优点，因此将逐渐取代传统的白炽灯和荧光 光，研磨工艺主要 目的就是去除切片损伤层，降低表面粗糙度，