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微细切削加工影响因素研究

· 机械制造与研究 · 王志勇,等 ·微细切削加工影响因素研究 微细切削加工影响因素研究 王志勇,吴笑天,袁玉兰 (南京理工大学 机械工程学院,江苏 南京 210094) 摘 要:概述了微细加工的应用领域以及加工范畴,通过对以往 1O年中在微细加工以及超精 密加工领域所做的大量实验进行了分析、整理和总结,从理论性、系统性及成熟性 3个方面,讨 论了微细加工机理及影响微细切削的因素 ,从而得出结论,为微细加工的研究提供参考。 关键词:微纳尺度;微细切削;尺寸效应;切削速度 中图分类号:TH16 文献标志码 :B 文章编号:1671—5276(2010)06-0042-03 ResearchingonM icromachiningM echanism WANG Zhi—yong,WU Xiao—tian,YUAN Yu—lan (SchoolofMechanicalEngineering,NanjingUniversityofScienceandTechnology,Nanjing210094,China) Abstract:Thispaperoutlinesthemicrofabricationapplicationfieldsandprocessingareas.Throughanalysissoliingandsummariza- , tionofmicrofabricationandultra。precisionprocessingwhichhavebeendonebymanyscholarsathomeandabroadforthepastten years,lhemechanism andinfluencefactorarediscussedintheaspectsoftheory,systematizationandpefectionofconclusionsand areferenceisgiventomicrofabricationresearch. Keywords:micro-nanoscale;microcutting;sizeeffect;cu~ingspeed 0 引言 2 微细切削影响因素 近几年,随着光学 、微电子学等领域的发展 ,产品的小 由于微纳加工技术 自身的优势以及各个领域对于微 型化已经成为一种全球化的趋势。产品和设备的小型化 细元器件迫切的应用需求,使得越来越多的学者致力于微 不仅能够大大降低材料与能源的消耗,还能提高空间利用 纳加工技术的研究,在过去的 1O年中微纳加工技术的发 率,减轻 自身质量等 J。由于这些优点,小型化产品及设 展尤为突出。通过对以往 10年的中外学者研究成果的分 备在生物医学、精密钟表、医疗器械、陀螺仪 、光学仪器、航 析和比对,将微纳加工技术和超精密加工技术等共性数据 空航天、国防以及高科技电子产品等领域有着广阔的应用 进行归纳,并得出对微纳加工技术发展有利的结论。 前景,微纳加工技术逐渐引起各个领域的重视,并 日益成 2.1 尺 寸效 应 为研究及关注的焦点。 与宏观切削不同,对于微细切削来讲,切削力与切削 1 微纳尺度 能量都会随着材料的去处量的减少而减少,中外很多学者 都对此进行了大量的实验验证,此外当微切削进给量减少 目前,为满足微型机械零件的应用及需求,小型化产

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