新型高温化学气相反应器的设计与开发.pdfVIP

新型高温化学气相反应器的设计与开发★ 口 郭广飞 口 薛 屺 口 古安林 西南石油大学材料科学与工程学院 成都 610500 摘 要：阐述了一种新型高温化学反应系统的结构和工作原理，并简要地介绍了它在金属表面陶瓷膜制备 中的应 用 。 关键词：气相沉积 表面改性 高温化学气相反应器 中图分类号：TH6；TGI55．7 文献标识码：A 文章编号：1000—4998(2010)08—0020—03 化学气 相沉 积 技术 是 一种 材 料表 面 改性 技 术 ，它 料 的使用寿命 、改善材料 的性能 、节省材料 的用量等方 是在 高温 下利 用气 固相 间 的反应 ，在 不 改变 基 体材 料 面起到 了重要 的作用 ，为社会带来 了显著 的经济效益 。 的强 度 条件 下 ，赋 予材 料表 面一些 特 殊 的性 能 。目前 ， 随着各个 应用领域要求 的不断提 高 ，对化学气相 沉积 的 由化 学气相 沉 积技 术 制备 的材料 ，不仅 应用 于 刀具材 研究也将 进一步深化 ，而这要求 我们 对相关设备 的研究 料耐磨耐热耐腐蚀材料 、宇航工业上 的特殊 复合材料 、 提 出更高 的要求 。随着 CVD设备技术 的不断进步 ，CVD 原子反应堆材料 以及生物 医用材料等领域 ，而且被广 技术 的发 展应用也将 随之跨上一个新 的 台阶。 泛应 用 于制 备 与合 成各 种粉 体 材 料 、陶瓷纤 维及 金 刚 2 新型高温化学气相反应器系统的设计与开发 石薄膜 等 【l。】。本 文 简要 阐述 了气 相 沉 积技 术 的技 术 原理 和 特点 ，重 点介绍 了一种 新 型 的高温化 学气 相 反 结合 课 题研 究 的需 要 ，特 设 计 了一种 新 型 高温 化 应器 系 统 ，同时简要介 绍 了该 反应 系 统在金 属表 面 陶 学 气相 反应 器 —— 钟罩 式 电 阻炉 气相 沉 积 系统 ，该 反 瓷膜制 备 中的应用 。 应 系统不仅 能满 足研究大尺 寸金 属零件 表面 处理 的工 艺要 求 ，还 能大 大提 高生产 效率 和设备 利用率 。该 反应 1 CVD的原理和特点 器 系统主要 由钟罩 式 电阻炉 、反 应室 、冷 却 灶3部分 组 化 学 气 相 沉 积 (ChemicalVaporDeposition，CVD) 成 (见 图2、3、4)，下面分别介绍各组件 的组成及工作原 是把含有构成薄膜元素 的气态反应剂 的蒸气及反应所 理 。 需其他 的气体 引入 反应 室 ，在衬 底 表面发 生化学反应 ， 2．1 钟罩 炉的结构及 工作原 理 并把 固体产 物 沉积 到表 面生 成 薄膜 的过 程 H]，其 原理 钟罩炉分为上下两部分 ，通过连接板连接 ，以方便 损坏 电阻丝 的更换 ，提 高其 可维护性 。在 钟罩 炉外壁设 有管轴 式 吊耳 ，通 过在 工作 台之外设立 的 吊装 机构 ，来 实现装 置 的安装 与使用 。钟 罩炉 、反应 室 以及 冷却灶 彼 此独立 ，当在反应室 内放置好工件后 ，将之置 于工作 台 上 ，做 好密 封 ，之后 开始 抽真 空 ，等 达到要 求 时 ，根据 工 况需要通 入 不 同的原料 气 体 。再将 钟 罩炉 吊装 与反应