Silvaco操作指南-53页要点.docVIP

第二篇 半导体工艺及器件仿真软件Silvaco操作指南 主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件Silvaco的基本使用。书中通过例程引导学习工艺仿真模块Athena和器件仿真模块Atlas，通过这两部分的学习可以使学习人员深入了解半导体物理的基本知识，半导体工艺的流程，以及晶体管原理的基本原理，设计过程，器件的特性。对于学习集成电路的制备及后道工序有一定的帮助。 第一章 Silvaco软件介绍 25 1.1程序启动 25 1.2 选择一个应用程序例子 26 1.3 工艺模拟 28 1.3.1 运行一次模拟 28 1.3.2 渐进学习模拟 28 1.3.3 绘制结构 28 1.3.4 使用Tonyplot进行绘图 29 1.3.5 修正绘图的外观 29 1.3.6 缩放及在图上进行平移 30 1.3.7 打印图形 31 1.4 使用History功能 31 1.5 明确存贮状态 32 1.6创建用于比较的两个结构文件 32 1.6.1 存贮文件创建 32 1.6.2　文件交叠 33 1.7 运行MOS工艺程序的第二部分 35 1.7.1 `Stop At 功能 35 1.7.2 使用Tonyplot用于2-D结构 36 1.7.3 使用Tonyplot来制备一轮廓图 37 1.7.4 产生交互式图例 38 1.8 工艺参数的抽取 39 1.8.1 源漏结深 40 1.8.2 器件阈