半导体气体传感器敏感薄膜结构的改进与分析.docVIP

半导体气体传感器敏感薄膜结构的改进与分析 　　作者简介：杜玉帅（1984―），男，河南南阳人，硕士研究生，研究方向为电阻式气体传感器。?? 　　蒋志立 男，(1985―)，男，河南南阳人，中国核工业有限责任公司调试中心。 　　 　　摘 要：文章在平面微电极式结构的基础上提出了一种新型薄膜气体传感器，其主要结构主要是引用离散阵列的概念，即将传统的厚度均匀的平面型传感器敏感薄膜改进为由直角三角体构成的多维立体敏感结构。并根据扩散反应理论对新型和传统型两种薄膜结构的传感器响应时间进行了分析与比较，证明新型敏感结构的传感器具有更短的响应时间。?? 　　关键词：多维敏感；直角三角；响应时间；气体传感器?? 　　中图分类号：TP212文献标识码：A文章编号：1673-0992（2011）1-0392-02?? 　　 　　引言?? 　　半导体气体传感器，是利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质发生变化，借此检测特定气体成分及其浓度。电阻式半导体传感器是用氧化锡、氧化锌等金属氧化物材料制作的敏感元件，利用其阻值的变化来检测气体的浓度[1]。气体检测技术在国民经济中占有重要地位。从多方面来看,半导体气体传感器是应用最为广泛的。其中电阻式半导体传感器由于研究较早,到目前为止是应用最为广泛的一种。气敏材料作为传感器最为关键的一部分,其性质直接影响到传感器的性能,常见电阻式敏感材料：如??SnO??2??、??ZnO??、??Fe??2O??3??作为传统金属氧化物及其掺杂类气敏材料已被广泛研究[2],但在实际应用中存在选择性差、操作温度高、稳定性差等问题,近十几年来对??In??2O??3??、??WO??3??、??moO??3??等为基的新型金属氧化物材料进行了深入系统的研究,从灵敏度、选择性、响应时间等方面来看,是检测??CO??、??H??2S??、??NH??3??等气体的理想材料[3-5]。本文改进了气体传感器敏感薄膜的结构，并进行了性能分析和比较。?? 　　 　　1?苯峁鼓Ｐ图捌湓?理?? 　　 　　1.1 结构模型?? 　　 　　图1 三角形状薄膜立体示意图?? 　　平面微电极式器件结构是气体传感器中最为常用的一种。它的工作原理主要是基于电极间敏感薄膜的电导或电阻随周围环境气体浓度的变化而工作的[6]。传统结构的敏感薄膜是厚度均匀的平面型结构，气体只能由上表面向其内部扩散，从而引起电导率的变化。本文对这种薄膜结构进行了改进，如图1所示：将其连续的平面型敏感薄膜的上表面改成多条直角三角体与多条沟槽相间的结构.气体只可以由上边面扩散到薄膜内，而对于直角三角体，增加了敏感膜与被测气体的接触面积，减小了薄膜的厚度，从而提高了传感器的应速度。由于随着时间的推移，扩散速度会越来越慢；气体在某一种薄膜材料中的扩散深度是一定值，故令三角体的高为H，且气体是竖直薄膜表面向内部扩散的。?? 　　 　　?? 　　图2 敏感单元截面图?? 　　在新型的薄膜结构中，可以三角体视为一个单元，其截面图如图2所示。为便于比较，取相同高度、宽度的平面型敏感薄膜的单元。由于在计算连续型平面型薄膜的电导时，可以把它看成若干个截面积相同的小电导的并联，故在比较新型薄膜结构与传统薄膜结构的差异时，只需比较一个单元。?? 　　1.2 工作原理?? 　　半导体气体传感器的敏感机理依据敏感膜的电导或电阻随气体浓度的变化而变化工作的。薄膜露于空气中时,吸附空气中的氧气,在一定温度下,氧会发生化学吸附,从半导体导带中夺取电子形成化学吸附态的??O????2-????、??O??-??或??O??-??2??,从而使薄膜的电导减小[7];当被测气体与敏感膜接触时,被测气体会与吸附的氧离子发生氧化还原反应释放出电子，从而敏感膜的电导增大，达到检测气体的目的。气体扩散进入薄膜与吸附的氧离子发生氧化还原反应时，释放出的电子数与气体分子数成正比，则电子浓度的变化量与气体浓度的变化量也成正比，假设比例常数为1。?? 　　1.2.1 平面型敏感单元 ?? 　　?? 　　对于平面型敏感薄膜单元，如图3气体由上表面往下扩散，扩散深度为H，增加的电子浓度满足扩散方程：?? 　　????N(x,t)??t=D?躬?2N(x,t)??x??2??(1)?? 　　方程的初始条件为N(x,0)=0，边界条件为N(H,t)=N??s，??x??为扩散深度，??D??为气体的扩散常数。则：?? 　　??N(x,t)=N??s??+??2π∑∞n=1(1nN??s(??cos??(nπ)-1)??sin??(nπ(x-H)2H)??*(2)?? 　　exp??(-n??2π??2Dt4H??2))?? 　　由于平均电导率=Qμ，则平面型敏感薄单