弹性压缩变形对步距规测量不确定度的影响 .pdfVIP

学兔兔 第33卷 第3期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．33 Nn 3 2012年3月 Chinese Journal of Scientific Instrument Mar．2012 弹性压缩变形对步距规测量不确定度的影响术 位恒政，王为农，裴丽梅，任国营 (中国计量科学研究院 北京 100013) 摘 要：针对步距规测量过程中正反向差较大的问题，利用赫兹压力理论分析了测头测力引起的弹性压缩变形，研究表明，由 于校准探针用标准器与组成步距规的量块的材质和形状的不同，其弹性压缩变形量存在差异，成为引起正反向差的一个较大分 量，通过选择合适的探针校准用标准器，使其符合测量中的一致性原则，可以有效减小步距规的测量不确定度。 关键词：步距规；探针校准；赫兹压力理论；计量学 中图分类号：THT01 TH72 O241．1 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：410．55 Effect of elastic compression on calibration uncertainty of step gauge Wei Hengzheng，Wang Weinong，Pei Limei，Ren Guoying (National Institute of Metrology，Bering 100013，China) Abstract：In the measurement process of step gauge，forward—backward deviation is a big contribution to the meas— urement uncertainty．With Hertz’S contact stress theory．the elastic compression due to probe force is analyzed．The material and shape of the gauge for calibrating probe diameter are different from that of the gauge consisting of step gauge．So the effect of compression on probe diameter is not identica1．This leads to the backward—forward error． Through selecting proper probe calibration standards and making them comply with measurement conformity rule，the calibration uncertainty of step gauge will be effectively decreased． Key words：step gauge；probe calibration；Hertz’S contact stress theory；metrology PM)把步距规列人了国际比对项目。中国计量科学研究 1 引 言 院代表中国参加了2002年球板／孔板国际比对(CCL． K5) ，2006年参加步距规和球板的国际比对(APMP— 步距规是一种高精度长度实物标准器，按照一定的 LK5，APMP．LK6)，比对结果良好。该系统由Leitz坐标 方式将多个量块固定于基体上，由各量块工作面组合提