多晶硅薄膜离面疲劳特性研究 .pdfVIP

学兔兔 第31卷 第4期 仪 器 仪 表 学 报 V01．31 No．4 2010年4月 Chinese Journal of Scientific Instrument Apr．2010 多晶硅薄膜离面疲劳特性研究木 陈龙龙，宋 竞，唐洁影 (东南大学MEMS教育部重点实验室 南京 210096) 摘 要：多晶硅薄膜材料为微电子机械系统(MEMS)器件最重要的材料之一，对其疲劳特性的研究是现阶段失效分析研究的 热点和重点。利用表面加工的多晶硅矩形微悬臂梁结构对该问题展开实验研究。通过干法刻蚀在微悬臂梁根部制作纵向应力 集中区，利用静电激励激励微悬臂梁进行离面振动，谐振频率检振方法跟踪微悬臂梁机械性能的变化。结果证明在10 一1O“ 次循环振动载荷作用后，微悬臂梁结构刚度下降，谐振频率减小，频率最大绝对偏移量达到1．544 kHz，相对偏移量达到结构本 征频率的1．3％。这些结果首次验证了MEMS结构在离面振动方向上也存在显著疲劳现象。和已有文献相比，实验中结构所 受应力幅度较其小2个数量级(约1～10 MPa量级)，而频率偏移量却高于其数十倍。这很可能是因为纵向干法刻蚀引入了较 大的粗糙度，显著加速了多晶硅结构的晶界分离速度，因而也加速了疲劳。 关键词：微电子机械系统；微悬臂梁；疲劳；离面；粗糙表面 中图分类号：TN406 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：620．5020 Study on the out—of-plane fatigue behavior of polysilicon membrane Chen Longlong，Song Jing，Tang Jieying (Key Laboratory ofMEMS ofMin~try ofEducation，Southeast University，Nanjing 210096，China) Abstract：As a constituent material for microelectromechanical systems，microscale polysilicon membrane is reported to suffer from fatigue．Here the problem is studied in an out—of—plane way．Polysilicon membrane is surface—microma— chined into a microcantilever at whose root a U-shaped notch is fabricated to induce stress concentration．The micro- cantilever is electrostatically loaded in the out—of-plane direction．The natural frequency shift of the microcantilever is used to monitor the fatigue behavior．It’S observed that the frequency shifts significantly after the loading．It is inter- esting that the shift is much greater and faster than reported，indicating a different manner of fatigue for polysilicon membrane under out—of-plane vibration with rough surface． Key word