多晶硅装置中洁净要求下的自动化工程设计.pdfVIP

第22卷 第2期 仪器仪表用户 EIC Vo1．22 2015年4月 NSTRUM EN1_ATlON 2015 No．2 多晶硅装置中洁净要求下的自动化工程设计 张公明 ，刘德斌 (1．东华工程科技股份有限公司，合肥 230024；2．贵州东华工程股份有限公司，贵阳 550002) 摘 耍 ：本文主要介绍了目前多晶硅装置中广泛应用的洁净生产技术。结合实际应用项 目，阐述了洁净设计对于多 晶硅产品质量的重要性。通过简单叙述多晶硅还原车间的生产流程 ，将 自动化工程划分为内外两个系统：内部系 统，针对仪表材料、结构型式、安装流程等方面，提供了常用的仪表设计方法；外部系统，通过对洁净室空气净化 系统的 自动控制操作要求进行分析 ，提出了自动控制解决方案。 关键词：多晶硅；工程设计； 自动化；暖通工程；洁净要求 中图分类号：TP273 文献标识码：A 文章编号：1671—1041(2015)02—0023—03 TheAutomationEngineerDesignforCleanRequirementinPolysiliconPlant ZhangGongming ，LiuDebin (1~EastChinaEngineeringScienceandTechnologyCo．，Ltd．，Hefei230024，China；2．GuizhouEastChinaEngineeringCo．，Ltd．， Guiyang550002，China) Abstract：Theessaymainlyprobesintothecleanmanufacturingtechniques，whicharewidelyusedinpresent：industrial polysiliconplant．Byincorporatingpracticalprojects．emphasishasbeengiventocleandesign．Briefanalysisi§adetothe productionprocessintheCVDReactorplant，andthentheautomationengineerwhichisappliedintheprocesssh0 bf ivid intotwosystems：Fortheinternalsystem，thecommoninstrumentcleandesignmethodisprovidedintheseaspectsofmaterials， structure，andinstallation；Fortheexternalsystem，automaticcontrolandoperationrequirementhavebeenanalyzedithus,the automaticsolutionissuppliedtomeetcleanrequirementinHVAC． Keyword$：polysilieon；engineerdesign；automation；HVACengineering；cleanrequirement 0 引言 按照行业 内对多晶硅等级 的划分概念，金属杂质含量 在ppba数量级 。对于金属等杂质含量而言，电子级多晶硅 当世界经济快速发展 ，伴随着化石能源的危机 ，太阳 纯度高于9N(99．9999999％，也就是9个 “9”，下同)|_ 能作为无污染新型能源，逐渐得到各国政府支持和机构研 太阳能级的纯度高于6N (6个 “9”)；一般冶金级的纯度 究。到 目前为止 ，太阳能光伏工业主要还是建立在硅材料 只有2N～3N (2-3个 …9’)。因此，从这个角度来说。