接触式干涉仪示值误差测量结果的不确定度评定.pdfVIP

精密制造与 自动化 2016年第 1期 oO·∈ 。O≥．。O -。≥．。O。∈≥。 《工艺与装备 0 。∈。≥’o∈。≥．。≤·言}。≥O≥．。≥．。∈o 接触式干涉仪示值误差测量结果的不确定度评定 刘兆平 花严红 李 振 (九江职业技术学院 江西九江 332007) 摘 要 接触式干涉仪在各科研院所、企业、高校等单位广泛使用，接触式干涉仪的测量准确度与温度、湿度等 环境因素以及测量人员使用的测量方法和测量水平均有关系，在频繁使用的情况下，势必会受到影响，此时应按 照国家管理规范要求对接触式干涉仪进行定期检定，以确保检测数据的权威性，而检定过程中非常重要的一个环 节即是对其示值误差的测量结果进行不确定度的评定。根据实际工作经验就接触式干涉仪示值误差测量结果的不 确定度评定按照规范要求进行了计算与分析，分析过程和结果均可作为不确定度评定时的依据和参考。 关键词 接触式干涉仪 示值误差 不确定度评定 接触式干涉仪是计量检定与校准领域常用的一 对象，同时要求其最大允许误差在 ±0．06gm 的范 种测量仪器，根据国家计量仪器管理的相关规定， 围之 内。 需定期对接触式干涉仪进行检定，以确保仪器能够 1．5 评定结果的使用 在国家标准范围内正常使用和检测数据的权威性， 测量时应严格按照上述要求的测量方法、测量 检定过程中非常重要的一个环节即是对其示值误差 温度、测量标准和合适的被测对象进行评定，在满 的测量结果进行不确定度的评定，笔者根据实际工 足上述条件的基础上，所评定出来的接触式干涉仪 作经验就接触式干涉仪示值误差测量结果的不确定 的示值误差测量结果的不确定度才可以直接使用 。 度评定按照规范要求进行了计算与分析 “’。 2 所用数学模型 1 测量概述 ∑n一(L 一L1) ￡== 一 1．1 测量方法的选择 n一 1 测 量 方 法 的选 择 非 常 重 要 ，我 们 依 据 式中：△为该受检点的示值误差；r1为两次读数值 ； JJG101．2004接触式干涉仪检定规程 中所规定的测 ∑r1为读数值 的总和；L为最后一块量块 的实际值 ； 量方法进行测量 。 L为用来对零的最初一块量块的实际值；n为使用 1．2 环境条件的确定 的量块的块数 。 测量过程中的温度、湿度、压力等环境条件将 直接影响测量结果，而此时我们对于温度的要求特 3 评定输入量的标准不确定度 别高，根据计量检定原则，选择环境温度为 (20± 3．1 评定输入量r1的标准不确定度u(q) 1)℃，此环境温度也是多数计量检测所要求的通用 根据对测量不确定来源的分析，接触式干涉仪 环境温度。 输入量 的不确定度r1的来源主要是其测量重复性， 1．3 测量标准的选择 而解决其测量重复性最好 的方法则是采用A类评定 根据接触式干涉仪的精度要求，我们选择二等量 法，即采用多次测量，使用多次测量后所形成的测 块作为测量标准，其中扩展不确定度为u=0．06gm， 量列。 包含因子为k=2．58，有效 自由度为o。。 下面对检定分度值 0．2gm进行不确定度分析。 1