日于柱面镜面形检测的CGH的设计与误差分析 .pdfVIP

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2017-05-08 发布于河南
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日于柱面镜面形检测的CGH的设计与误差分析 .pdf

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日于柱面镜面形检测的CGH的设计与误差分析

学兔兔第卷第期光学仪器年月文章编号用于柱面镜面形检测的的设计与误差分析马顺翔王占山同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室上海摘要现代射线掠入射成像式望远镜是由大量的圆柱面超薄玻璃镜面经压制成圆锥面组成的准型望远镜为了完成超薄玻璃圆柱面的检测设计了适用于干涉检测的计算全息图结合的设计制作过程分析了的基底面形误差刻蚀占空比误差刻蚀位置误差刻蚀深度等误差并对占空比刻蚀深度的参数做了具体的分析通过对制作误差的分析选择了制作参数采用设计制作的和干涉仪实现了射线望远镜用柱面镜的检测检测结果达到了柱面镜的使用要求关键词二元线性光栅计算全息图标量衍射干涉仪中图分类号文献标志码