闭环点位置对静电悬浮加速度计性能影响研究 .pdfVIP

学兔兔 第 36卷 第 7期 仪 器 仪 表 学 报 V01．36No．7 2015年 7月 ChineseJournalofScientificInstrument Ju1．2015 闭环点位置对静 电悬浮加速度计性能影响研究木 刘 爽，刘云峰 ，董景新 (清华大学精密仪器系高精度惯性仪表及系统技术教育部重点实验室 北京 100084) 摘 要：为研究差动 电容式静 电悬浮加速度计非线性 、零偏 、标度因数、噪声以及量程与闭环点位置的关系，推导了闭环点位置 与上述参数关系的数学模型，分析了闭环点偏移来源。通过仿真和实验对比了闭环点调节前后系统非线性、零偏和量程，通过 实验研究了闭环点位置波动对系统噪声的影响。仿真和实验结果表明，将敏感质量闭环点位置调节在机械零点附近可以降低 系统非线性 、零偏和系统噪声 ，并能提高理论量程。 关键词：非线性；闭环点位置；零偏；静电悬浮加速度计。 中图分类号：U666．1 TH824．4 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4020 Investigation oninfluenceoftheclosed-loop position onperformance 0felectr0staticaIlysuspended accelerometer LiuShuang，LiuYunfeng，DongJingxin (KeyLaboratoryforHigh-precisionInertialInstrumentandSystemTechnologyoftheMinistryof Education，DepartmentofPrecisionInstrument，TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：Inordertostudytherelationshipbetweentheclosed—loopposition(CLP)andnonlinearity，bias，noiseandrangeofelectro— staticallysuspendedaccelerometer，themodeloftheaboveparametersbasedontheclosed—looppositionisdeduced，whichistheorigin ofCLPshifting．Thenonlinearityandbias，whichareobtainedbeforeandafteradjustingCLP，ayecomparedwithsimulationandexperi— mentmethods．ThenoisecausedbyshiftingofCLP isalsoinvestigatedintheexperiment．Theresultsshowsthatonecandecreasethe nonlinearity，bias，noiseandincreasetherangebyadjustingthetestmasstothemechanicalzeroposition． Keywords：nonlinearity；closed—loopposition；bias；electrostaticallysuspendedaecelerometer 0．1mHz～0．1Hz测量带宽 内，噪声水平可达 10～ ～ 10一 g／Hz llol 1 引 言