高深宽比小孔内径的检测装置研究.pdfVIP

日 窒塑壹日 曼 麦旦 doi：10．3969／j．issn．1671-1041．2012．02．003 高深宽比小孔 内径的检测装置研究 王 爽 ，冯进 良，董 时，丁 铂 (长春理工大学 光电工程学院，长春 130022) 摘要：在深小孔测量中由于其测量操作不便，效率低 。测量中的难度较大。文中将接触式测量方法和非接触式测量方法相融 合利用光纤传感器方法测量dx：FL。它融合了光纤非接触与接触式探头二者的优点。并对系统的误差进行了分析。并且实现 低成本高回报、操作较简便的检测装置。 关键词：光纤传感器；探头；测量标定 中图分类号：N33 文献标志码 ：A Smalldiameterboreholedetectiontechnology WANGShuang，FENGJin．1iang，D0NGShi，DINGBo (ChangchunUniversityofScienceandTechnologyOpticalEngineering，Changchun130022，China) Abstract：Duetomeasurementsmaneuverandlow efficiencyinthedeephole，measurementshaddifficult．Thispaperin- troductionthemethodsthatfusionthecontactmeasurementmethodsandnon-contactmeasurementmethodusingoptical fibersensortomeasurethehole．Itcombinestheadvantagesbothfiber-opticnon-contactandprobe contact-type，and analyzedsystematicerrors，detectiondeviceachievedlow—costandhighreturns，theoperationaremore simple． Keywords：fiberopticsensor；probe；measurementcalibration O 引言 在综合了对小孔测量的各种方法中可以得出，接 在对小尺寸孔类零件提出精密加工要求的同时， 触式测量方法的操作误差较大，对深孔的测量不便； 也是对其检测精度提出了更高的要求。孔类零件和 非接触法大多只能测量通孔，且受到小孔端面形貌的 轴类零件相比，即便公差等级相同，前者的测量也要 影响较大，不能获得小孔任意截面的信息；激光扫描 更加 困难一些。由于很难保证在小孔表面和小孔径 CCD成像方法国内还没有产品化，造价相对较高不 深处的尺寸相同，特别是对于高深宽比且孔 内又是断 便于大批量的投入使用。本课题主要研究的内容中 续的内表面的这类特殊孔。在人工测量方法 中无法 主要利用测头与光纤结合来测量小孔，它融合了光纤 判断出测得的值是否是作用于截面的直径。除此之 测量的非接触与接触式探头二者的优点，可以测量很 外，精密类零件为满足高精度 的配合间隙，其 内工作 小的内径 。利用这种方法可以测量小孔径深孔，并且 表面的粗糙度也要求很高，即便是平常被人们认为测 实现低成本高回报的检测装置，所以此检测系统不失 量精度很高的传感器，也可能因为测量力的存在造成 为一种好的测量方法 。 测量误差并有可能划伤零件内孔壁。因此，深小孔类 精密零件的高精度、高效、经济的测量就成为一个较 1 检测原理 难实现的问题 。 1．1 原理简介 本课题就址钏x,J小孔径深孔的检测研究中遇到 首先，由于深孔不便于测量，提出了利用光纤 ，便 的问