高精度位移传感器线性度标定方法研究 .pdfVIP

学兔兔 第36卷 第5期 仪 器 仪 表 学 报 V01．36No．5 2015年 5月 ChineseJournalofScientificInstrument May．2015 高精度位移传感器线性度标定方法研究 张德福，葛 川，李显凌，倪明阳，郭 抗，李朋志 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 长春 130033) 摘 要 针对光学系统 中光学元件的高精度位移调节和检{贝4问题 ，提 出一种非接触 电容位移传感器的线性度标定方 法 ，搭建了一个运动轴、测量轴和传感轴三轴共线 的标定平 台，从测量原理上消除阿贝误差。介绍 了标定平 台的组成 和标定方法的原理 ，采用对称平行 四边形机构实现微位移调节 ，基于柔度矩阵法分析 了调节机构的输出柔度和行程。 试验结果表明，机构 的柔度为 13．585p~m／N，运动行程为 543．4Ixm，分辨率约为 10nm。经过标定补偿计算 ，传感器 的线性度 由0．04714％提高至0．00484％。该线性度标定方法精度高 ，标定后的传感器满足精密位移调节机构使用 要求 。 关键词：传感器 ；标定；线性度 ；柔度矩阵 中图分类号：TH74 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．40 Linearitycalibrationmethodofthehigh-precisiondisplacementsensor ZhangDefu，GeChuan，LiXianling，NiMingyang，GuoKang，LiPengzhi (StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Toaddresstheissueofhigh-precisiondisplacementadjustmentandmeasurementinopticalsystem，alinearitycalibration methodofnon—contactcapacitivedisplacementsensorisproposed．A calibrationplatform inwhichthemovementaxis，themeasurement axisandthesensingaxisarecollinearisbuilt．TheAbbeenDriseliminatedinthemeasurementprinciple．Thecompositionandprinciple ofthecalibrationmethodarepresented．Symmetricalparallelogrammechanismisusedtoachievemicro—displacementadjustment．The outputcomplianceandtravelstrokeofthemechanismareanalyzedbasedonthecompliancematrixmethod(CMM)．ResultsSHOWSthat thecomplianceofthemechanism is13．585i~m ／N，anditsmovementstrokeandpositioningresolutionare543．4 andlOnm respec— tively．Thelinearityofthesensorisimprovedfrom 0．047 14％ to0．004 84％ aftercalibrationealeulation．Thelinearityca1ibration methodexhibitshigh—precision，whichsatis