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离子渗氮的工艺过程控制 齐重数控装备股份有限公司 (黑龙江 161005) 吕长君 李 强 常 春 张宏宇 郝 欣 离子渗氮即在真空、高电压状态下，失去 电子 O．30mm时渗氮速度大大降低，渗入厚度0．50mm~lJ 的氮原子 (即氮离子)向阴极方向以高速冲击，使 需20～30h。 ’ 处于阴极的工件迅速加热，并在一定温度范围内溅 离子氮化防渗十分简便易行 ，只需将防渗部位 射至工件表面，并随之向内扩散，形成含氮合金化 用铁质金属屏蔽 ，不使 电流冲击 ，即可达到防渗的 合物 ，达到氮化 目的。 目的。 1．离子氮化与气体氮化对比 2．离子氮化注意事项 因其渗入理论与气体氮化有一定差别，也有一 (1)装炉 清洗工件同气体氮化，但最好擦 定相同性，所以在操作上有一定的特殊性。 干或晾干再装入炉内，以节省打弧时间。工件应 (1)二者都涉及到四要素 ，即工件表面洁净 均匀装入炉 内，工件之间、阴阳极之间必须间隔 度、氮化温度、氨的分解率和渗氮保温时间。但有 30mm以上，以免工件之间、两极之间电流密度过 一 定的区别，而且因其特异性，在操作上有一些形 大而致工件局部温度过高。做好防渗，凡小于2mm 式的不同，尤其防渗方法存在较大的不同。 的孔、缝隙必须屏蔽，试样放置在能与工件温度保 (2)清洗工件，与气体氮化大体相同，但对 持一致 的位置上。 于工件交检质量不构成威胁，如果清洗得好，可大 在离子氮化中经常发生两种异常辉光发射，有 大缩短打弧时间，反之只需延长打弧时间，也可以 场致发射和电子发射。场致发射即为工件或气隙存 维持工作。离子氮化温度与气体氮化温度一样，但 在小孔或小缝隙，或因油质熔化引起辉光集中，导 其温度测量至今尚为一道难题，即热电偶很难与工 致 电流加大产生定点弧光 ，生成类似于 电焊的效 件匹配，其显示值也不能完全一致，只可作参考， 果，使工作无法进行。电子发射即为工件存在尖角 所以目测温度甚为重要。 或工件摆放不当，如两件之间、阴阳极之 间距离 (3)离子氮化也需要足够的氮原子 ，但因其 太近，这些地方电流密度较大，当工作时如所给电 独特的电离能力 ，极少的氮原子即可满足氮化需 流太大，则这些位置温度迅速升高，电流密集于此 要 ，所以一次工作保温阶段有lkg氨气即可满足工 处 ，也产生定点弧光 ，使工作无法进行。 作需要。其氮原子是否足够工作需要，可视炉 内气 (2)升温及保温 首先关闭通气阀，给真空 体被电离后所发出的辉光厚度及颜色来进行判断。 泵及水冷 电阻通冷却水。起动真空泵，，打开蝶形 正常工作时辉光发出淡蓝色微光，辉光厚度保持在 阀，当真空度lOOPa时，即可送高压，缓慢进给 2．5～3．Omm，发黄发亮，辉光厚度超过3mm，则 占空比。当高压到达800V时 ，炉内即可产生辉光 为氨气供给量太少；辉光暗淡发黑厚度小于2mm， 放 电。此时正常状态为炉内跳跃飞逐的散弧，随着 则为氨气供给太多。 飞弧的减少，逐渐加大占空比，