基于ZnO／Glass声表面波器件的高速紫外传感特性研究.pdfVIP

2014年 第33卷 第9期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 35 DOI：10．13873／J．1000—9787(2014)o9-0035-03 基于 ZnO／Glass声表面波器件的高速紫外传感特性研究 谷 航 何兴理，骆季奎 (浙江大学 信息与电子工程学系，浙江 杭州 310027) 摘 要：基于氧化锌 ／玻璃 (ZnO／G1ass)结构的声表面波 (SAW)器件可以用来制作性能优 良的紫外探测 器。使用有限元分析软件COMSOLMuhiphysics仿真了该种结构的声表面波器件，并得到其 $11参数。基 于仿真结果，制备了相应的SAW器件，实验所用ZnO薄膜采用直流反应磁控溅射方法沉积，所制备的ZnO 薄膜呈 (0002)取向。基于该种结构的SAW紫外探测器对紫外光的反应时间仅 3S，其紫外探测的灵敏度 高达36．4×10 ／mW／cm。