基于位置误差的真空机器人碰撞保护研究.pdfVIP

第 9期 组 合 机 床 与 自动 化 加 工 技 术 NO．9 2011年 9月 M odularM achineTool＆ AutomaticM anufacturingTechnique Sep．2011 文章编号 ：1001—2265(2011)09—0017—03 基于位置误差的真空机器人碰撞保护研究 邹风 山 r，曲道奎 ，徐 方 ，宋吉来 (1．中国科学院 沈阳 自动化研究所 ，沈阳 110016；2．中国科学院 研 究生院，北京 100039；3．新松 机器人 自动化股份有限公司，沈阳 110168) 摘要 ：要保证碰撞发生时真空机器人与晶片的安全 ，避免造成较大的损失，真空机器人必须具有碰撞 保护功能。在研究真空机器人位置误差变化的基础上 ，不使 用额外的传感器，建立基 于位置误差模 糊推理的碰撞保护系统。该系统选用二维的模糊控制 器来确定位置误 差的阈值 ，以机 器人加速度 、 机械惯量作为输入条件 ，估计的系统位置误差作为输 出条件 ；并提 出了不 同的保护策略。最后给 出 了真空机器人碰撞的实验结果 ，结果表明该碰撞保护方法具有较 高的准确性和灵敏度。 关键词 ：碰撞检测 ；位置误差；真空机器人 中图分类号 ：TH16；TG65 文献标识码 ：A Research ofVacuum RobotCoilision ProtectionBasedon Position Error ZOUFeng—shan’，QUDao—kui。，XUFang，SONGJi。lai (1．ShenyangInstituteofAutomation，ChineseAcademyofSciences，Shenyang110016；2．Graduate SchoolofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：Inordertoprotectthevacuum robotandsemiconductorwafersandavoidbiggerlossesin the operationprocess，thevacuum robotneedsto havethefunction ofcollisionprotection．Basedonthere- searchofvacuum robot’Sposition errorchange，wedevelop acollision detection system based on the fuzzydeduceofpositionerrorwithoutusingextrasensor．Inthesystem weusedafuzzycontrollertoget thethresholdofpositionerror，usedaccelerationandmechanicalniertiaastheniput，estimatedsystem po- sitionerrorastheoutput．Anddifferentprotectstrategiesaregiven．Intheendexperimentalresultsare presentedtoverifytheeffectivenessandreliability oftheproposedcollisiondetectionmethod． Keywords：collisiondetection；positionerror；vacuum robot 果保护不好会造成较大 的损失 ，因此保护碰撞发生 0 引言 时晶片与机器人 的安全 ，避免操作失误和故 障引起 安全 问题一直是机器人应用 中的一个非 常重要 的机器人或晶圆损坏就显得尤为重要 。 研究方向，当机器人与人或其它设备协同工作 时，一 目