TFT-LCD边角Zara+Particle研究和改善.pdfVIP

科技 IGITCW 创新 D Technological Innovation TFT-LCD 边角 Zara Particle 研究和改善 陈 杰 管礼志 孟凡维 高荣荣 刘俊豪 （合肥京东方光电科技有限公司，合肥 230011） 【摘要】本文研究了 TFT-LCD 显示器制造工艺过程中边角 Zara Particle 不良产生机理及其改善措施。通过拆屏后扫描电子显微镜 （SEM）观察分析和实验模拟，发现此种不良为边角附近柱状隔垫物 （Photo Spacer ，PS ）受外力挤压破损产生碎屑造成。研究发现 不良主要发生在液晶盒 Q-Panel 厚度减薄 （Slim）工序段，并且不良 Panel 常伴随发生厚度不均。建议通过加强减薄工艺管控以提高 Panel 厚度均一性和探究提升 PS 强度的制造工艺以及寻找新型 PS 制造材料的方法来降低此种不良的发生率。 【关键词】TFT-LCD ；Zara Particle ；柱状隔垫物 ；挤压 【中图分类号】TN873+.93 ；TP278 【文献标识码】A 【文章编号】1672-7274 （2015 ）08-0188-02 1 引言 近年来，TFT-LCD （薄膜晶体管液晶显示器）以其低功耗、 低辐射、低空间占用率以及轻、薄、美观等优点，得到越来越广 泛的应用。新型液晶面板不断被开发出来，人们对液晶面板显示 效果的要求也在不断提高，因此对液晶面板制造企业也提出了更 高的要求 [1-2] 。液晶面板厂内对Zara Particle 类不良的检查也变得 图2 Panel对盒后流通环节 越来越严格。Zara Particle 源于日语，用于表示液晶显示画面的 3 结果与讨论 不良，常指液晶面板在暗态画面下显示区域出现的微小细密亮点。 3.1 Particle微观形貌与成分分析结果 产生 Zara Particle 不良的原因很多，与液晶盒（Panel ）的 结构设计、制造工艺、面板显示模式等都有关系 [3] 。本文针对 由图3 可知，发生不良的边角位置彩膜 CF 侧柱状隔垫物 13.3inch 全高清 TFT-LCD 显示器边角 Zara Particle 不良进行研 PS 顶端受到明显破坏，且 TFT 侧碎屑的成分分析进一步确认 究，结论为液晶面板制造工艺过程中边角位置柱状隔垫物（Photo- Particle 碎屑为 PS 受损脱落物。据此，推测不良是 Panel 流通过 Spacer，PS ）受挤压产生PS 碎屑造成，并且通过排查发现此不良 程中 PS 受到破坏产生碎屑，这些碎屑形成 Zara Particle 不良。 主要发生在 Q-Panel 减薄（Slim）工序。据此，提出加强减薄代 工厂 Slim 工艺管控和探究提升 PS 强度的制造工艺以及寻找新型 PS 制造材料的方法来降低此种不良的发生。 2 实验 2.1 不良现象确认 本次 Zara Particle 不良检出工位为模组 COG （Chip On Glass ） 产线后段，现象为边角位置集中细密碎亮点，故在本文称为边角 Zara Particle 。经模组现场确认30片不良品，现象及位置如图1所示。 图3 Particle微观形貌与成分 3.2 不良产生机理模拟 图1 不良现象与位置发生率