基于MEMS微镜的傅里叶变换光谱仪原理与.pdfVIP

第32卷，第11期 光谱学与光谱分析 2 1 O and November，2012 2年l1月 SpectroscopyspectralAmIysis 基于MEMS微镜的傅里叶变换光谱仪原理与分析 陈建君，朱 永。，刘 波，韦 玮，张 洁，王 宁 重庆大学光电工程学院．重庆400044 摘要提出r一种新型的基于可编程MEMS(micrO-electroImechanicalsystems)微镜的微型傅里叶变换红 外光谱仪。该光谱仪采用可编程MEMS微镜和倾斜反射镜替代了传统傅里叶变换光谱仪的动镜系统。理论 分析了该光谱仪的工作原理，并进行了计算机仿真，验证了该方法的可行性。结果表明，该光谱系统能够准 确地还原光谱信息，其光谱分辨率在近红外区域小于5帆，波长准确性约1咖，系统理论上的信号采集周 期约50ms。适合于利用阿达玛变换提高信噪比，可应用于微量物质检测。 关键词光谱；MEMS；傅里叶变换 中图分类号：TH744．1文献标识码：A DOI：10．3964／j．issml000-0593f2012)11—315l—04 提供了新方向。 引 言 1 系统原理 红外光谱技术作为主要的无损检测技术被广泛应用于油 料检测、食品安全、化学化工及国防领域。特别是近年来， 如图1所示，提出的傅里叶变换光谱仪由光源系统、可 食品安全越来越引起人们关注，各学科间的交叉融合使红外 编程MEMS微镜、变化的迈克尔逊干涉仪、信号探测及处理 光谱仪器迅速朝向微型、便捷、集成化和廉价方向发展[1】。 系统组成。可编程MEMS微镜是一种光机电一体化元件，其 傅里叶变换红外光谱仪因具有光通量大、分辨率高和多 光学部分表面是由镀有极高反射率的铝材料做成的微小镜片 ．通道传输的优势而受到青睐。然而，传统的傅里叶变换光谱 阵列，适合于做光学反射镜。光源发出的光经过准直镜准直 仪通常体积庞大、结构复杂、成本高、防潮抗震性能差，对 之后，到达MEMS微镜。在数字驱动电路控制下，可编程 工作环境要求苛刻[1’6‘111。因此，国内外众多研究机构致力于MEMS微镜各列独立在±12。两个方向上偏转。平行光经 研究微型化的傅里叶变换光谱仪。具有代表意义的有长春光 MEMS微镜各列反射，任意时刻控制微镜其中一列与其余 机所提出的新型空间调制微型傅里叶变换光谱仪睛]；瑞士纳 列处于不同的偏转状态，使该列反射光进人干涉系统。进人 沙泰尔大学研制的微型化傅里叶变换光谱仪[1]；美国德克萨 干涉系统的光束经过分束，分别在平面反射镜和倾斜反射镜 斯大学研制的集成化的微型光谱仪等『2]。但是，上述微小型 1————●-KetIecto‘ 光谱仪普遍生产成本高，系统元件加工难度大，目前仍停留 在实验室研究阶段，不具备在国民生产中广泛应用的前景。 基于可编程MEMS微镜的光束选择特性，提出了一种 结构简单紧凑的微型傅里叶变换光谱仪。该光谱仪舍弃了传 统傅里叶变换光谱仪复杂的动镜驱动系统，通过可编程 MEMS微镜与倾斜的反射镜配合实现干涉光程差的变化， 利用单点探测器探测干涉光强信号。克服了传统傅里叶变换 光谱仪体积庞大、结构复杂、对工作环境要求苛刻等缺点。 同时可编程MEMS微镜生产工艺成熟且价格便宜，有利于 sckf陋tic 降低仪器成本。该方法为微小型的在线检测光谱仪器的发展 Fi昏l dia罂砌ofspectrometersyst帅 收稿日期：2012一05一09．修订日期：2012一07—15 基金项目：国家自然科学基