基于earliest调度策略对带驻留时间约束单臂组合设备的暂态分析.pdfVIP

业信息化 (n一1)道工序，Y表示机械手从第 1道工序旋转 工好，那么机械手立即将其卸载下来；(2)机械 至第n道工序 ，Y。表示机械手从第2道工序旋转 手到达加工模块卸载晶圆时，如果加工模块中的 至第0道工序。图2展示了单臂组合设备具有 ／1,个 晶圆还没加工好 ，那么机械手在此等待 ，一旦晶 加工步骤的Petri网模型。 圆加工好，机械手立即将其卸载下来；(3)机械 假设组合设备按照给定的晶圆加工流模式 手拿着待加工的晶圆来到加工模块时，如果该加 (m。，m：，…，m )对晶圆进行加工，稳态时系统 工模块是空的，立即将其载人加工模块中。暂态 达到最大产能时有∑ m个晶圆同时在系统中加 是指组合设备所有加工模块中从没有加工晶圆开 工 。所 以 ，让初 始状 态 。为 Mo(P)=m ， 始 ，机械手将晶圆一个个的载人到组合设备中， ∈ ， Mo(r)=1来 表示 机 械手 为 空 ，让 到所有的加工模块都有加工晶圆并最终组合设备 Mo(P。)= 表示系统中总有晶圆可被载人到系统 进入稳态运行的过程。 中。为了避免图2中的Petri网模型死锁 ，给出让 根据文献[7]，设丁表示第 道工序的晶圆在 Petri网避免死锁的控制策略。 加工模块中的停留时间，如果晶圆在第 道工序满 定 义 1口： 在 标 识 下 ， 如 果 足驻留时间约束，那么 ∈[n，口，+6]。根据图 (P )=m 一1，则变迁 Y， ∈N u{o}，是 2中的Petri网模型，第i步完成一个晶圆需要经过 可触发的；如果 (P)=m ， ∈ ，则变迁 Y 以下过程 ：触发sA+ )一 触发s+l(A) 触发 是可触发的。 y,_l(X／)一 机械手在第 一1步等待 ( ：) 触发 s 通过定义 1，强迫Petri基于拉式策略运行。 一 l12(A+x／)一触发 sA)一 晶圆在第 i步加工 下面我们展示采用拉式策略的单臂组合设备的运 ( )一 触发 Si2(A+x／)。则该过程所 需时 间为 行过程 。稳态 时一定有状态为 (P)=m ， P=下+4A+ + ()：。这样 ，考虑并行模块 ， ∈N，M (r)=1，接着系统的运行过程如 ： 一 第 道工序完成一个晶圆允许的最短的时间为： q．2— 2— qol—◆s0l— 一1 g(1)2— (H一1)2— qnl— 0= (。+4A+3：+ )／m；，i∈N一{1} (1) s1 Y一2— gn[一2)2— (n一2)2— gn(一1)1— n(一1)l— yn一3— … 第i道工序完成一个晶圆允许的最长时间为： gl2 12 q21 s2l )，0 go2 so2_÷gll sll 0L= (0+6+4A+ 上+ 1)／mf，i∈N -{1J ‰ 这样系统走完一个周期。基于拉式策略，系 (2) 统不断的周期性重复以上的运行过程。 第一道工序完成一个晶圆允许的最短时间为： 为了解决该系统的调度问题 ，需将系统的活 1s = (0l+3A+A0+3：+ 0)／m1 (3) 动时间与系统的Petri网模型联系起来。令机械手 第一道工序完成一个晶圆允许的最长时间为： 每次的运动时间为 ，机械手从P。卸载一枚晶圆 1￡= (r上1+1+3A+Ao+3 + 0)／ml (4) 的时间为A。，而在其他步骤中卸载或安装晶圆的