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基于碳纳米管微传感器阵列和随机共振的气体检测方法研究

第23卷 第2期 传 感 技 术 学 报 V0I_23 No.2 2010年 2月 CHINESEJOURNALOFSENSORSAND ACTUATORS Feb.2010 StudyofaNovelGasDetectingSystem BasedonCarbonNanotubes M iniaturizationSensorArrayandStochasticResonance HUIGuohua .CHEN Yuquan2 ,1.CollegeofFoodScienceandBiotechnology,ZhejiangGongshangUnivesity,Hangzhou310035,China; 、 \2.CollegeofBiomedicalEngineeringandInstrumentScience,ZhejiangUniversity,Hangzhou310027,China} Abstract:Agasdetectingsystembasedoncarbonnanotubes(CNTs)miniaturizationsensorarrayandnon—linear stochasticresonancealgorithm wasproposed.ThesensorarrayincludedCNTsanodicsensorandcathodalsensorto reducethecross-sensitivity.Ethanol,acetoneandammoniadetectingexperimentswerecarriedout.Thesensorar— rayresponseswererecorded,andthebistablestochasticresonancewasutilizedtocalculatethesignal—to—noiseratio (SNR).ThegasconcentrationsandvarietiescouldbedeterminedbySNRparameters,andstochasticresonance methodcouldreducecross—sensitivityofthedetectingsystem.Thedetectingsystem presentedgoodsensitivity,re— peatability,andpracticalvalue. Keywords:gassensor;miniaturizationsensor;carbonnanotubes;stochasticresonance;signal—to—noiseratio EEACC :7320L :2575 基于碳纳米管微传感器阵列和随机共振的气体检测方法研究术 惠国华 ,陈裕泉 (1.浙江工商大学食品与生物工程学院,杭州 310035;2.浙江大学生物医学工程与仪器科学学院,杭州310027) 摘 要 :提出了一种基于多壁碳纳米管微传感器阵列和非线性随机共振算法的新型气体检测方法。微传感器阵列包括碳纳 米管阳极传感器和碳纳米管阴极传感器 以减小检测系统的交叉灵敏度。实验检测 了乙醇、丙酮和氨气三种气体,传感器阵列 响应输入随机共振系统进行处理,结果表明,信噪比曲线参数能够标定气体浓度和种类 ,且随机共振处理方法可以有效的降 低系统的交叉灵敏度,检测系统具有较好的灵敏度和重复性,具有较好的实用价值。 关键词 :气体传感器;微传感器;碳纳米管;随机共振;信噪比 中图分类号:TP212.2 文献标识码 :A 文章编号 :1004—1699(2010)02—0179—04 碳纳米管传感器近年来成为传感研究领域的热 度约在 1.84 』l1。传感器由碳纳米管电极、铝板电极和 点,在生物医学、微电子、微机械、环境保护、生物化工 塑料绝缘薄膜构成三明治结构,电极间距可以通过调 等领域崭露头角 -s]。2003年 ,Modi等制作 了一种电 整塑料绝缘薄膜的厚度进行控制。 离型阳极碳纳米管气敏传感器 ,发现不同气体具有

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