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基于辅助结构实时监测大高宽比纳米结构显影过程的方法研究
第25卷 第5期 传 感 技 术 学 报 Vo1．25 NO．5
2012年 5月 CHINESE JOURNALOFSENSORSAND ACTUATORS Mav2012
Real-TimeM onitoringtheHigh-Aspect—RatioNanostructures
in theDevelopmentbyUsingAuxiliaryStructures
CU／Huanhuan，LIUGang ，ZHOUJie，XIONGYing，HAN Yangchao
(NationalSynchrotronRadiationLaboratory，UniversityofScienceandTechnologyofChina，Hefei230029，China)
Abstract：Inordertomonitortheheightofthehigh—aspect—rationanostruetures(HARNST)inthedevelopment
process，theauxiliarystructuresareintroducedonthesamesubstrateasthenanostruetures．Therectanglegratings
whichdisplayaconveniently detectedopticalphenomenonwith thevariation ofheight，areappropriate tobethe
auxiliary structures．The一1stand+1stdiffractedefficiencyofthegratingsaremonitoredinthedevelopment．The
real—timemonitoringofHARNSTcarriedoutbyestimatingheightaccordingtothe±1stdiffractedefficiencyandae—
curatelymeasuringheightwiththeirratios．Therectanglegratingswith50lines／mm and160lines／mm aredesigned
tobeauxiliarystructuresforthemonitoringoftheHARNST withheightupto3Ixm．Thesimulationresultsshow that
itiseffectivetomonitortheheightofHARNSTbymonitoringthediffiactedefficiencyoftheauxiliarygrating．And
thismethodhasauniversalapplication tovariousnanostruetures．
Keywords：MEMS；auxiliary structure；real—timemonitoring；high—aspect—rationanostureture9·diffractedefficiency
EEACC：4180；4260；7310F doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2012．05．009
基于辅助结构实时监测大高宽比纳米结构显影过程的方法研究冰
崔焕焕 ，刘 刚 ，周 杰，熊 瑛 ，田扬超
(中国科学技术大学国家同步辐射实验室，合肥 230029)
摘 要 ：提出了一种引入辅助结构作为显影过程的监测对象来实现对大高宽比纳米结构高度变化进行实时无损监测的方法。
随着结构高度的变化，矩形光栅表现出明显的光学性质的变化，便于进行光学监测，适合用作辅助结构。使用光栅负一级和正一
级衍射效率两个参数作为监测依据，首先通过观测它们的起伏变化得到结构大致的高度范围．然后通过观测负一级与正一级的
比值得到结构高度的精确值 ，从而实现对大高宽比纳米结构高度的实时监测。以高度为3}xm的纳米结构为例，设计了线密度为
5O线／mm和 160线／mm的矩形光栅作为辅助结构来监测显影过程中结构高度的变化。模拟结果表明，通过监_；910光栅衍射效率
的变化可以有效地监测纳米结构高度的变化，该方法适用于对大高宽比纳米结构的显影过程进行实时监测。
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