基于近似模型的Y轴微机械陀螺系统级优化.pdfVIP

第25卷 第3期 传 感 技 术 学 报 V0J．25 No．3 2012年 3月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Mar．2012 ApproximateM odelBasedSystem—LevelOptimization ofay-AxisGyro Lt)Xianglian ，HE}rang (MicroandNanoElectromechanicalSystemsLaboratory，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xi’an710072，China) Abstract：ApproximatemodelwasusedforMEMS system ·leveloptimization．Theimplementationframeworkswas alsobuilt．Theoptimizationmethodsolvedtheproblemhowtogetanaccurateexpressionofobjectivefunction，and howtogettheobjectivefunctionvalueofeachsearchpointeffectively．Themethodwasdemonstratedbyay-axis gyro，withtheoptimizedparameters，thegyrogetsfrequencyof3074Hzand2998Hzindriveanddetectionmodere- spectively，theoptimizationobjectivewassatisfied． Keywords：MEMS；system—level；approximatemodel；optimization；y-axisgyro EEACC：7320E doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2012．03．010 基于近似模型的Y轴微机械陀螺系统级优化术 吕湘连 ．何 洋 (西北工业大学陕西省微／纳米系统重点实验室，西安 710072) 摘 要：提出一种基于近似模型的MEMS系统级优化方法，给出具体实现流程，并结合一个Y轴微机械陀螺进行优化。该方 法解决了如何得到近似优化 目标函数表达式的关键问题。所得的Y轴微机械陀螺优化参数 ，使得陀螺驱动模态谐振频率 和检测模态谐振频率 分别为3074Hz和2998Hz，两者之间相差76Hz，较好的实现了模态匹配 ，且都在3000Hz的设计要 求附近．约束条件也得到了满足。该优化方法为在MEMS设计中快速获得系统级优化方案提供较好参考。 关键词：MEMS；系统级；近似模型；优化；微机械陀螺 中图分类号：TH701 文献标识码：A 文章编号 ：1004—1699(2012)03—0329—04 优化一直是设计中的一个重要命题。在 MEMS 化设计的还有很多 8 。 设计中也一样，可行高效的优化方法一直是设计者 然而，事实上，对于一个MEMS优化问题，优化 目 们追求的目标[1]。尤其在系统级设计中，好的优 标函数表达式的获得往往不都是这么有经验可循．而 化方法对设计者快速得到满意设计方案 ．减少仿真 且上述优化方法建立在得到解析的优化 目标函数的 迭代次数都具有非常重要的意义。 基础之上 ．不是严格意义上的系统级优化。而且对于 一 般的优化问题都可以表达成一个通用形式： 设计工具中的优化模块而言，需要提供给设计者的应 优化 目标：mi厂()，(i=1，2，…，n) 该是一种相对容易操作和实现的优化方法。 约束条件 ： ( )≤O(k：1，2，…，，)， ()≤O 为了体现 MEMS系统级优化问题和一般优化 (=1，2，…，I，)