激光冷却器高精度表面的超精密加工工艺研究.pdfVIP

第5期 组合机 床 与 自动化 加工 技术 No．5 2015年5月 M odularM achineTool AutomaticM anufacturingTechnique M ay2015 文章编号：1001—2265(2015)05—0121—02 DOI：10．13462／j．enki．mmtamt．2015．05．034 激光冷却器高精度表面的超精密加工工艺研究木 韩长庆 ，楚 种 (中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川 绵阳 621900) 摘要：冷却器是重要的换热、冷却设备，在激光行业常用的是循环水冷却器，是激光系统中必不可少 的部件之一。工件表面质量决定了产品的冷却性能、温度控制精确度、发热元件的寿命等。文章在 无应力装夹、刀具选择、加工参数选择、冷却润滑条件、进刀方式等方面优化了切削工艺参数，实现 了 超精密冷却器高精度表面质量的加工。 关键词：冷却器；工艺参数；表面质量 中图分类号：TH166；TG659 文献标识码 ：A ResearchonUltra-precisionProcessingTechnologyofHighPrecisionLaserCoolerSurface HAN Chang-qing，CHU Chong (InstituteofMechanicalManufacturingTechnology，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，MianyangSi· chuan621900，China) Abstract：Coolerisanimportnatheatexchanging，coolingdevice．Circulatingwatercoolerthatisoneof hteindispensablecomponentsforlasersystemsiswidelyusedinlaserindustry．Thesurfacequalityofthe coolerdetermineshtecoolingperformance，tenlperaturecontrollingaccuracyandtheservicelifeofheating element．Inhtispaper，accordingtohteoptimalcuttingparameterssuch aslow orfreestressinstallation， toolselection，optimalcuttingparameters，cooling／lubricationconditionsandfeedmode，hteultra-precision surfacequalityofhighprecisionmachiningonhtecoolerwasrealized． Keywords：cooler；processparma eters；surfacequality O 引言 腔形成的流道便于冷却液的循环，在基体的上端焊接 一 封闭的厚度约 3ram的紫铜板，其上表面要求精度 冷却器是重要的换热、冷却设备，应用比较广泛， 高 ，表面粗糙度要求达到 Ra5nm，平面度要求达到 而且在激光行业也有应用 ，常用的是循环水冷却器 ，是 0．5／xmo 激光系统中必不可少的部件之一。冷却器与发热元件 直接接触，所以工件 的表面质量决定了产品的冷却性 能、温度控制精确度、发热元件的寿命等。 目前高精度表面加工方法主要有单点金刚石切 削、磁流变抛光、离子束去除等 ¨剖。综合考虑加工效 图1 激光冷却器零件示意图 率和成本等问题，单点金刚石切削技术在高精度平面 从工艺角度看，激光冷却器基体为大面积空腔结 零件加工中具有明